現(xiàn)代半導(dǎo)體制造中質(zhì)量控制和評(píng)價(jià)的關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩127頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、如今,在半導(dǎo)體和集成電路制造領(lǐng)域,隨著工藝過(guò)程、技術(shù)和設(shè)備的日益復(fù)雜,電子元器件產(chǎn)品自身功能的不斷完善,以及客戶對(duì)工藝水平及產(chǎn)品質(zhì)量要求的不斷提高,使得生產(chǎn)過(guò)程質(zhì)量控制和評(píng)價(jià)技術(shù)顯得日益重要。同時(shí),越來(lái)越多的國(guó)內(nèi)企業(yè)為了向國(guó)際型企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)邁進(jìn),開(kāi)始重視質(zhì)量控制與工藝評(píng)價(jià)技術(shù)。因此,全面實(shí)施工藝質(zhì)量控制與評(píng)價(jià)技術(shù)具有重要意義。
  本論文以半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中多品種小批量生產(chǎn)過(guò)程及多變量生產(chǎn)工藝為主要研究對(duì)象,以理論分析及計(jì)算機(jī)模擬仿真為

2、手段,利用 self-starting技術(shù)、多元數(shù)值積分與極大似然估計(jì)等,研究了多品種小批量生產(chǎn)過(guò)程中,工藝參數(shù)均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差的監(jiān)控,以及如何對(duì)多變量生產(chǎn)過(guò)程的產(chǎn)品質(zhì)量和工藝進(jìn)行評(píng)價(jià)。本論文同時(shí)介紹了基于截尾樣本分析供應(yīng)商所提供的產(chǎn)品質(zhì)量的方法。本文的研究成果有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量,減少質(zhì)量缺陷,對(duì)提高企業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力具有深遠(yuǎn)的意義。本論文的主要研究?jī)?nèi)容包括:
  1).分析了在多品種小批量生產(chǎn)模式下,實(shí)施質(zhì)量過(guò)程控制技術(shù)所面對(duì)的困難

3、。創(chuàng)新性地提出了多品種生產(chǎn)模式下的質(zhì)量控制方法——T-K控制圖技術(shù),用于檢測(cè)工藝參數(shù)母體均值及標(biāo)準(zhǔn)偏差的波動(dòng)。該控制圖采用一種對(duì)樣本量要求不高的方法,基于采集的每批樣本數(shù)據(jù),計(jì)算 T、K統(tǒng)計(jì)量,使得 T、K統(tǒng)計(jì)量各自相互獨(dú)立且服從相同分布。該技術(shù)具有 self-starting特點(diǎn),無(wú)需經(jīng)歷分析用控制圖階段估計(jì)母體的分布參數(shù),尤其是 T控制圖的建立過(guò)程與母體標(biāo)準(zhǔn)偏差無(wú)關(guān)。即便在母體分布參數(shù)未知的情況下,只要樣本數(shù)據(jù)達(dá)到2批,T-K控制圖

4、即可對(duì)多品種小批量生產(chǎn)過(guò)程實(shí)施質(zhì)量控制。
  2).從 SPC技術(shù)的基本原理出發(fā)點(diǎn),討論了控制圖性能的衡量方法。對(duì)平均運(yùn)行長(zhǎng)度的概念、意義及計(jì)算方法做出簡(jiǎn)單介紹。其次對(duì) T控制圖及 K控制圖的 ARL性能進(jìn)行了分析。而后分析了 self-starting控制圖的缺陷,并提出了一種優(yōu)化方法用于改進(jìn)具有自啟動(dòng)特點(diǎn)的控制圖的 ARL性能。結(jié)果表明,改進(jìn)后的 Q控制圖以及 T-K控制圖的 ARL性能均有明顯提升。
  3).以單變量

5、工藝為核心簡(jiǎn)要介紹單變量工序能力指數(shù)與工藝成品率的關(guān)系,并結(jié)合6σ設(shè)計(jì)評(píng)價(jià)思路對(duì)常規(guī) Cpk計(jì)算方式進(jìn)行了改進(jìn),提出了一種與成品率具有一一對(duì)應(yīng)關(guān)系的等效工序能力指數(shù) ECpk。之后沿用這一思想引出基于成品率的多變量工序能力指數(shù) MECpk的概念及計(jì)算方法,并分析了協(xié)方差矩陣對(duì)多變量工藝成品率的影響,提出了一種提升工藝成品率的解決思路。最后通過(guò)實(shí)例詳述了多變量工序能力指數(shù)的計(jì)算過(guò)程,通過(guò)與其他多變量工序能力指數(shù)評(píng)價(jià)結(jié)果對(duì)比,驗(yàn)證了 MEC

6、pk指數(shù)的有效性。
  4).成品率反映了產(chǎn)品的內(nèi)在質(zhì)量和可靠性。從購(gòu)買者的角度出發(fā),介紹了如何利用產(chǎn)品特性參數(shù)的截尾樣本數(shù)據(jù)來(lái)評(píng)價(jià)供應(yīng)商所提供產(chǎn)品的質(zhì)量;提出了利用服從截尾正態(tài)分布的樣本數(shù)據(jù)推測(cè)產(chǎn)品成品率的方法,該方法同時(shí)適用于單側(cè)及雙側(cè)截尾情況;定量分析了成品率計(jì)算結(jié)果的置信區(qū)間,進(jìn)而給出了該方法對(duì)樣本容量的要求。同時(shí),結(jié)合半導(dǎo)體產(chǎn)品的實(shí)際測(cè)試數(shù)據(jù)介紹了基于截尾數(shù)據(jù)推測(cè)成品率的步驟,并驗(yàn)證了算法有效性。
  5).此外,

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論