1、基于MEMS的多能域耦合特性，對(duì)MEMS執(zhí)行器進(jìn)行多場(chǎng)耦合分析，研究MEMS執(zhí)行器在耦合場(chǎng)（如結(jié)構(gòu)、靜電和阻尼的耦合場(chǎng)）中的行為特性，為MEMS執(zhí)行器的設(shè)計(jì)和應(yīng)用提供參考和指導(dǎo)。
　　首先探討MEMS執(zhí)行器多場(chǎng)耦合分析的方法，按照原理不同分為基于數(shù)學(xué)模型，基于宏建模，基于有限元法三種類型，闡述三類方法的原理，應(yīng)用步驟和特點(diǎn)，為進(jìn)行MEMS執(zhí)行器多場(chǎng)耦合分析奠定基礎(chǔ)。
　　以靜電驅(qū)動(dòng)懸臂梁和靜電驅(qū)動(dòng)梳齒作為典型的MEMS執(zhí)行器

2、進(jìn)行多場(chǎng)耦合分析。對(duì)靜電驅(qū)動(dòng)懸臂梁進(jìn)行力學(xué)分析，吸合效應(yīng)和氣體阻尼的理論分析和推導(dǎo)，應(yīng)用等效法求解動(dòng)態(tài)特性和吸合電壓，在COMSOL中進(jìn)行靜電-結(jié)構(gòu)耦合分析，研究撓度與驅(qū)動(dòng)電壓的關(guān)系和結(jié)構(gòu)對(duì)吸合電壓的影響。對(duì)靜電驅(qū)動(dòng)梳齒進(jìn)行電容和靜電力的理論推導(dǎo)，在COMSOL中進(jìn)行靜電-結(jié)構(gòu)耦合分析，研究梳齒位移與驅(qū)動(dòng)電壓的關(guān)系以及橫向驅(qū)動(dòng)和縱向驅(qū)動(dòng)的差異。
　　對(duì)應(yīng)用引信環(huán)境力的MEMS執(zhí)行器進(jìn)行多場(chǎng)耦合分析。設(shè)計(jì)了一種應(yīng)用引信雙環(huán)境力（最大