1、精密制造、測量和微操作技術已經(jīng)逐漸成為現(xiàn)代先進制造業(yè)的重要支撐。作為關鍵技術之一，精密定位技術在精密制造和科學研究中占有極其重要的地位。微位移機構是精密定位的基礎，直接影響精密定位和測量技術的實際應用，研究開發(fā)性能可靠并可滿足多種技術要求的微位移機構，對推動精密制造與測量技術的應用與發(fā)展有著重大影響。
　　本文在理論分析的基礎上設計了一種基于行星差動滾柱絲杠原理的微位移機構。該機構不僅可以提供高分辨率的微位移，還可以根據(jù)實際工作需

2、求將微動行程進行有效地擴大。與滾珠絲杠螺母機構相比，該機構采用的是三角形螺紋面嚙合傳動，接觸范圍增大，承載力得到大幅度提高。通過計算機軟件分析、優(yōu)化，設計制造出具有位移分辨率高、行程范圍大、剛度高和動態(tài)響應較好的精密微位移機構。課題研究的主要工作及取得的成果如下:
　　(1)系統(tǒng)分析了各種微位移機構的功能、原理、技術背景及研究現(xiàn)狀，著重分析了行星差動滾柱絲杠微位移機構的理論基礎和技術原理。
　　(2)通過理論研究和計算分析，

3、設計了一種基于行星差動滾柱絲杠原理的微位移機構。利用UGNX進行三維造型并進行虛擬裝配，驗證其結構設計的正確性，并對機構的分辨率、運動行程、螺紋導程、螺紋直徑等主要結構參數(shù)進行優(yōu)化，最終確定微位移機構的整體結構。
　　(3)對行星差動滾柱絲杠機構的軸向剛度進行理論分析，并對機構進行相應簡化處理，運用ANSYS軟件對其軸向接觸變形進行仿真分析，得到理論計算值和仿真分析值。通過與滾珠絲杠軸向剛度的對比，確定行星差動滾柱絲杠微位移機構具