1、在精密和超精密加工技術(shù)的研究和發(fā)展過程中，精密和超精密機(jī)床起著決定性的作用。傳統(tǒng)的超精密機(jī)床的精度主要是靠機(jī)床的基準(zhǔn)元件的精度達(dá)到的，然而，依靠提高超精密機(jī)床部件的精度來繼續(xù)提高加工精度已十分困難，而且一些加工中產(chǎn)生的誤差很難消除．因此，可以采用微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)刀具的精確微小位移，并在加工過程中對(duì)加工誤差做出相應(yīng)補(bǔ)償。 稀土超磁致伸縮材料是一種新型的功能材料，具有磁致伸縮應(yīng)變大、磁-機(jī)耦合系數(shù)高、能量密度高等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)在微位移驅(qū)

2、動(dòng)方面展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景。本課題以超磁致伸縮材料為基礎(chǔ)，在分析磁致伸縮原理的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了超磁致伸縮致動(dòng)器的機(jī)械結(jié)構(gòu)，電磁結(jié)構(gòu)以及預(yù)緊機(jī)構(gòu)和溫控裝置。 在本課題中，還根據(jù)超磁致伸縮致動(dòng)器的特點(diǎn)以及實(shí)際加工中的需要，設(shè)計(jì)出二維微進(jìn)給刀架。微進(jìn)給刀架采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和彈性微位移機(jī)構(gòu)。文章對(duì)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和彈性位移機(jī)構(gòu)進(jìn)行了深入的理論分析。為了更好的研究微進(jìn)給刀架的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)性能，本文建立了二維的微位移刀架的有限元模型，分別進(jìn)行了有限