1、晶片雙面精密研磨機(jī)設(shè)計(jì)晶片雙面精密研磨機(jī)設(shè)計(jì)摘要：本研磨機(jī)是一臺(tái)是能夠?qū)?英寸的晶片進(jìn)行雙面精密研磨的機(jī)器，所加工的晶片是光電子領(lǐng)域使用的人工晶體基片(如藍(lán)寶石、水晶、硅、碳化硅等)。設(shè)計(jì)的主要任務(wù)是進(jìn)行晶片雙面精密研磨機(jī)的總體設(shè)計(jì)、傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和加載系統(tǒng)設(shè)計(jì)。加載方式采用氣缸加載，加載壓力的變化過(guò)程呈斜線式上升。在開(kāi)始和結(jié)束時(shí)壓力都要盡量減小，從而降低了上研磨盤(pán)的振動(dòng)對(duì)工件造成的不良影響。為了使研磨過(guò)程中晶片運(yùn)動(dòng)軌跡復(fù)雜化，晶片放在保

2、持架內(nèi)，保持架成為由中心齒輪和齒圈所構(gòu)成的差動(dòng)輪系中的行星齒輪。使晶片的運(yùn)動(dòng)是行星運(yùn)動(dòng)和自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的合成運(yùn)動(dòng)。通過(guò)改變中心軸和空心軸的運(yùn)動(dòng)參數(shù)，即可獲得不同的行星輪的運(yùn)動(dòng)軌跡。為使晶片研磨有較高的研磨效率，研磨盤(pán)表面加工有深3的十字形槽。此外，根據(jù)研磨機(jī)的工作原理，設(shè)計(jì)了它的控制系統(tǒng)。mm將氣動(dòng)控制系統(tǒng)與電氣控制系統(tǒng)聯(lián)合控制，實(shí)現(xiàn)了研磨壓力的精確控制，且工作效率高，安全可靠。通過(guò)研究雙面研磨的加工機(jī)理，分析了雙面研磨的運(yùn)動(dòng)過(guò)程，并運(yùn)用計(jì)算

3、機(jī)模擬了研磨運(yùn)動(dòng)軌跡，使研磨運(yùn)動(dòng)軌跡能達(dá)到研磨痕跡均勻并且不重疊。因此，加工后的晶體有很高的平面度，且兩端面有較高的平行度。關(guān)鍵詞：雙面研磨；研磨機(jī)設(shè)計(jì)；晶片；計(jì)算機(jī)仿真本設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)來(lái)自：完美來(lái)自：完美畢業(yè)設(shè)計(jì)畢業(yè)設(shè)計(jì)網(wǎng)登陸網(wǎng)站網(wǎng)站聯(lián)系客服系客服遠(yuǎn)程截程截圖或者或者遠(yuǎn)程控程控觀看完整全套看完整全套論文圖紙?jiān)O(shè)計(jì)圖紙?jiān)O(shè)計(jì)客服客服QQ：8191040movementtrackscanachieveunifmityarenotthesame.Th

4、erefetheprocessedcrystalhasahighdegreeofplanarparallelonthetwosides.Keywds:DoublesidelappingLappingMachineWaferComputerSimulation目錄1前言??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

5、?????????????????????????????????????????????12晶片雙面精密研磨機(jī)的總體設(shè)計(jì)???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????32.1制定晶片雙面精密研磨機(jī)的工藝分析????????????????????????????????????????????????????????

6、????????????????32.1.1單面研磨方式?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????32.1.2雙面研磨方式???????????????????????????????????????????????????????????????????????

7、??????????????????????????????????????32.1.3晶片雙面精密研磨機(jī)的工藝分析?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????42.2確定晶片雙面精密研磨機(jī)的總體結(jié)構(gòu)方案???????????????????????????????????????????????????????????????

8、??43晶片雙面精密研磨機(jī)的傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)???????????????????????????????????????????????????????????????????????????53.1傳動(dòng)系統(tǒng)的選擇????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????53.2傳動(dòng)

9、系統(tǒng)零件設(shè)計(jì)????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????53.2.1電動(dòng)機(jī)的選擇??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

10、???????????53.2.2帶傳動(dòng)的設(shè)計(jì)計(jì)算?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????53.2.3減速器的選擇??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

11、???????????????????????????83.2.4齒輪傳動(dòng)的設(shè)計(jì)?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????83.2.5鏈傳動(dòng)的選擇???????????????????????????????????????????????????????????????

12、??????????????????????????????????????????????83.2.6軸承的選擇???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????103.3傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)計(jì)算和校核????????????????????????????????????

13、??????????????????????????????????????????????????????103.3.1軸的設(shè)計(jì)計(jì)算和強(qiáng)度剛度校核???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????103.3.2齒輪的強(qiáng)度計(jì)算和校核??????????????????????????????????????????????????

14、??????????????????????????????????????????144晶片雙面精密研磨機(jī)的加載系統(tǒng)設(shè)計(jì)?????????????????????????????????????????????????????????????????????????184.1加載形式的選擇??????????????????????????????????????????????????????????????????????????

15、????????????????????????????????184.2加載系統(tǒng)零件設(shè)計(jì)??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????184.2.1氣缸的選擇?????????????????????????????????????????????????????????????

16、??????????????????????????????????????????????????184.2.2研磨盤(pán)的設(shè)計(jì)???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????184.2.3行星輪的設(shè)計(jì)?????????????????????????????????????

17、??????????????????????????????????????????????????????????????????????194.3加載系統(tǒng)有關(guān)計(jì)算和校核??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????204.3.1研究研磨壓力對(duì)研磨效果的影響???????????????????????

18、????????????????????????????????????????????????????205晶片雙面精密研磨機(jī)的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)?????????????????????????????????????????????????????????????????????????225.1氣動(dòng)控制系統(tǒng)?????????????????????????????????????????????????????????????????

19、?????????????????????????????????????????????225.1.1氣動(dòng)控制系統(tǒng)及工作原理????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????225.2電氣控制系統(tǒng)??????????????????????????????????????????????????????????

20、????????????????????????????????????????????????????236晶片雙面研磨運(yùn)動(dòng)過(guò)程分析及計(jì)算機(jī)仿真?????????????????????????????????????????????????????????????????266.1晶片雙面研磨的加工機(jī)理??????????????????????????????????????????????????????????????????

21、????????????????????????266.2研磨運(yùn)動(dòng)軌跡方程的建立??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????276.3apt???、、及w?四者關(guān)系的確定???????????????????????????????????????????????????????????????????