1、金屬網格結構具有波長依賴的共振透射特性，因此常被作為濾波的器件。但是金屬網格結構在高頻區(qū)存在的旁瓣影響了濾波的效果。本論文針對旁瓣個問題設計并制備了一種新型的折疊十字結構。本論文主要包含以下兩個方面的內容:
　　(1)旁瓣產生的機理探討以及折疊十字結構的設計。利用有限元仿真法對金屬網格結構短波區(qū)的旁瓣的產生的機理進行仿真探討，仿真結果表明旁瓣主要包含三個部分1）網格結構的衍射2）相鄰結構之間的高階共振峰3）薄膜的上下表面的F-P共

2、振峰。針對這三個方面相應的優(yōu)化方案(1)衍射旁瓣:我們通過設計這種折疊十字結構，由于折疊臂的加入，可以使得相應的周期設計的更小，從而使衍射區(qū)更加遠離主透射峰;(2)高階共振峰:通過仿真發(fā)現當設計的折疊十字結構滿足L+2W＜=G（其中L主臂長，W折疊臂長，G單個圖形周期）條件時，產生的高階共振峰強度很弱同時位置出現在衍射區(qū)的旁瓣中被淹沒;(3) F-P共振峰:優(yōu)化薄膜結構的厚度，當厚度小于一定的數值時，F-P共振峰位于衍射區(qū)，淹沒在衍射旁

3、瓣中。
　　(2)基于上述設計結構，研究了無基底金屬薄膜的工藝流程，采用SU-82010光刻膠和磁控濺射鍍膜、紫外曝光、金屬鎳電鍍等工藝，成功制備出該結構。對于中心頻率為0.75THz和1.25THz兩種（十字孔和折疊十字孔）對比結構，測試結果表明:0.75THz兩種結構的主峰透過率均在88.4％左右，帶寬在0.2THz，對于高頻區(qū)的旁瓣折疊十字結構可以實現0.230THz更加遠離;1.25THz兩種結構的主峰透過率均在89.2％