1、MEMS傳感器以其結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好、可靠性高、成本低等優(yōu)點，成為環(huán)境監(jiān)測中檢測氣體、水體環(huán)境中生物化學物質(zhì)的一種較為常用的生物化學傳感器，逐漸成為環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域的研究熱點。
　　本文以一種基于叉指電極結(jié)構(gòu)的MEMS生物化學傳感器為研究對象，對其工作原理介紹、結(jié)構(gòu)優(yōu)化、制作工藝、測試應用方面進行了系統(tǒng)的研究，具體內(nèi)容如下：
　　1．介紹了叉指電極傳感器的工作原理。針對其環(huán)境監(jiān)測中低濃度生物化學物質(zhì)難以檢測的問題，提供了一種基于

2、叉指電極結(jié)構(gòu)的MEMS生物化學傳感器。著重研究叉指電極結(jié)構(gòu)的電阻模型和設(shè)計參數(shù)，通過優(yōu)化仿真分析得到設(shè)計參數(shù)對叉指電極傳感器的影響規(guī)律，從而對叉指電極傳感器的性能進行優(yōu)化。
　　2．通過綜合分析微機電的各種微加工方法，選擇濕法腐蝕工藝作為叉指電極微結(jié)構(gòu)的制造方法并設(shè)計了整個工藝方案。重點研究了鍍制鉻/金電極金屬層、濕法腐蝕叉指電極微結(jié)構(gòu)等工藝，對比分析了工藝參數(shù)對加工質(zhì)量的影響規(guī)律，通過優(yōu)化確定了各工藝環(huán)節(jié)的參數(shù)，最后經(jīng)過工藝實驗

3、完成了叉指電極微結(jié)構(gòu)的制作。
　　3．完成了叉指電極氣體傳感器的設(shè)計與制作。對電極結(jié)構(gòu)的選擇、工藝流程的編制、氣敏材料的制備、傳感器版圖的繪制進行了系統(tǒng)的研究，完成了叉指電極氣體傳感器的制作，并進行了初步的測試，驗證了叉指電極氣體傳感器的實用性。
　　4．完成了叉指電極大腸桿菌傳感器的設(shè)計與制作。提出了一種基于叉指電極的大腸桿菌生物傳感器，采用生物修飾技術(shù)在傳感器表面修飾大腸桿菌，通過化學還原反應在叉指電極的微間隙間沉積銀單