非旋轉對稱光學非球面(柱面)面形絕對檢驗技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、非旋轉對稱光學非球面元件,如柱面元件等,具有獨特的光學特性,在天文、強激光等先進光學系統(tǒng)中得到了廣泛應用。但因其非旋轉對稱的特點,尚未有高精度的絕對檢測方法。計算全息元件(Computer-Generated Hologram,CGH)可以產生任意形狀的波前,可實現(xiàn)復雜光學元件的零位干涉檢測,但系統(tǒng)誤差及參考誤差的存在限制了計算全息法的檢測精度。為了進一步提高檢測精度,本文在計算全息零位檢測技術的基礎上,以非旋轉對稱光學非球面中的特例—

2、—柱面元件為研究對象,研究了基于共軛差分干涉術的面形絕對檢驗技術。主要研究內容有:
  針對一柱面元件,完成柱面補償用CGH的設計與加工,搭建干涉測量裝置,實現(xiàn)柱面元件的零位干涉檢測;采用切比雪夫多項式對檢測過程中的像差進行分析,實現(xiàn)了裝調誤差的分離。
  采用多種算法對待測面的微分波面進行復原仿真,得到待測柱面的絕對面形分布;相比于差分干涉法,共軛差分干涉法提高了面形復原精度,增強了測試可靠性;同時,通過疊加實際測試過程中

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