1、雙工件臺光刻機采用宏微驅動的方式，以達到整個系統(tǒng)對速度和精度的要求，作為宏動臺的執(zhí)行機構—永磁同步直線電機（PMLM），主要負責大行程的直線運動，其定位精度要求達到微米級。但是由于直線電機特殊的結構特點，在控制中存在的主要問題有：參數不確定性、模型不確定性和各種非線性干擾力的影響。為了達到要求的控制性能，必須對以上問題進行解決。因此本文選用了自適應魯棒控制方法，然后通過仿真驗證了其控制效果，使系統(tǒng)的跟蹤性能和抗擾性都得到了提高。

2、　　首先，闡述了永磁同步直線電機的基本結構和工作原理，正是由于其開斷的結構特點也帶來了邊端效應這種非線性干擾力。然后對其dq軸數學模型進行了推導，得到了推力方程，因此可以通過控制電流來完成對永磁同步直線電機的控制。接著對直線電機受到的最主要非線性力—定位力做了詳細闡述，獲得了其理想的數學模型。最后在前面基礎上建立了直線電機數學模型。
　　其次，針對直線電機存在的參數不確定性問題選用了自適應控制方法，這樣控制器的參數并不是固定不變的

3、，可以采用參數自適應律對未知參數進行在線辨識，從而更新控制器。由于電機模型的相對階大于1，需要采用反步法的思想進行設計。因此首先闡述了反步法的設計思路，然后分析了自適應控制的基本原理，結合反推法得到了自適應反步法的設計過程。最后針對實際模型進行了控制設計和仿真驗證。
　　再次，針對自適應控制存在的不足，闡述了確定性魯棒控制思想，并進行了MATLAB仿真，驗證其可以有效的抑制各種干擾的存在。為了綜合兩種控制方法的優(yōu)點，提出了自適應魯