1、近年來，隨著太陽能技術(shù)的蓬勃發(fā)展，在人們的日常生活中，太陽能電池應(yīng)用的領(lǐng)域越來越廣泛，而目前應(yīng)用最多的就是硅太陽能電池。而如何降低晶硅太陽能電池的表面復(fù)合速率，提高光電轉(zhuǎn)換效率成為目前人們研究的熱點(diǎn)。
　　氧化鋁薄膜具有介電常數(shù)高，熱穩(wěn)定性好，制備溫度較低等優(yōu)點(diǎn)，而且能有效降低晶硅表面的復(fù)合速率，提升電池轉(zhuǎn)換效率，非常適合作為晶硅太陽能電池表面的鈍化薄膜。
　　本文主要研究了利用溶膠-凝膠技術(shù)在晶硅太陽能電池上制備氧化鋁薄膜

2、，并對(duì)幾種主要的鈍化薄膜的鈍化機(jī)理進(jìn)行研究，通過對(duì)實(shí)驗(yàn)過程中工藝參數(shù)的控制來得到不同質(zhì)量的氧化鋁薄膜，并對(duì)制備的氧化鋁薄膜進(jìn)行研究測(cè)試分析。
　　本文首先介紹了太陽能電池及太陽能電池表面鈍化的發(fā)展?fàn)顩r，闡述了太陽能電池原理和太陽能電池表面鈍化的原理，以及C-V法測(cè)試MIS結(jié)構(gòu)的原理。成功在晶硅太陽能電池表面制備出高性能的氧化鋁鈍化薄膜，其中，測(cè)試得到的薄膜參數(shù)為:透過率達(dá)到95.6％，截止頻率約為2×105Hz，界面態(tài)密度為5.8