1、基于自由電子激光(Free Electron Laser，F(xiàn)EL)的太赫茲波源可產(chǎn)生波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)頻率范圍在0.1THz-10THz的遠(yuǎn)紅外輻射激光，且該輻射光功率和效率都非常高，優(yōu)于其他太赫茲波源。光學(xué)諧振腔作為太赫茲自由電子激光（THz-FEL）裝置的核心系統(tǒng)之一，其主要作用是為反射光脈沖和相繼電子束提供能量耦合的場(chǎng)所，研制高增益低損耗的光學(xué)諧振腔具有非常重要的意義。為使FEL裝置能快速達(dá)到能量飽和出光，在光學(xué)諧振腔中加入波導(dǎo)對(duì)光場(chǎng)進(jìn)

2、行約束，以達(dá)到降低損耗提高增益的目的。
　　本文所研究波導(dǎo)安裝于FEL裝置波蕩器16mm的磁鐵間隙中，為滿足低損耗高增益要求，對(duì)波導(dǎo)材料的相對(duì)磁導(dǎo)率、剛度、強(qiáng)度以及加工的直線度、平面度和表面粗糙度都有較高要求，需對(duì)其進(jìn)行研究設(shè)計(jì)。首先，通過(guò)對(duì)比分析知波導(dǎo)能對(duì)光場(chǎng)聚束，可大幅降低損耗提高增益，對(duì)整個(gè)FEL裝置有非常重要的作用。然后，綜合考慮強(qiáng)度、剛度以及安裝空間受波蕩器間隙限制等因素，對(duì)波導(dǎo)進(jìn)行整體結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)。但所設(shè)計(jì)出的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)

3、為1130mm長(zhǎng)，截面為40mm×10mm矩形空腔，空腔內(nèi)表面要求鍍層處理以及1.6μm的高粗糙度，現(xiàn)有工藝無(wú)法直接加工獲得，相應(yīng)地設(shè)計(jì)出可行的工程機(jī)械結(jié)構(gòu)。而改進(jìn)后的部件結(jié)構(gòu)非常薄僅有2mm厚且較長(zhǎng)，本身強(qiáng)度、剛度十分差極易變形，針對(duì)此問(wèn)題進(jìn)行加工工藝的試驗(yàn)研究，通過(guò)兩次試驗(yàn)加工得到可行的加工工藝路線。與此同時(shí)，考慮到波導(dǎo)需要焊接且其內(nèi)表面需要鍍層處理，通過(guò)多次試驗(yàn)對(duì)比確定相應(yīng)的鍍層處理方法以及鍍層材料。完成相關(guān)工藝研究后，進(jìn)行正式波