精密光柵線位移傳感器結構優(yōu)化研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、光柵線位移傳感器主要用于數(shù)控機床和精密儀器的位置檢測和閉環(huán)反饋控制，其檢測精度直接決定了數(shù)控機床的整體精度。近年來，國內對光柵線位移傳感器的研究主要集中在高精度母板制造技術、長光柵制造技術、絕對編碼技術、單場掃描技術等，對其溫度特性、機械結構研究較少，而光柵線位移傳感器的溫度特性和機械結構對其測量精度有較大影響。
　　本文首先分析了光柵線位移傳感器精度的影響因素，尤其是溫度特性和機械結構，然后從光柵尺、傳動結構、彈性連接、外觀和防

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