1、超聲電機作為近幾十年來發(fā)展起來的新型電機，具有結構簡單、位移分辨率高、響應速度快、無電磁干擾、能在真空中工作等優(yōu)點，在很多領域已經開始應用。與電磁式電機相比，超聲電機發(fā)展時間短暫，理論不夠成熟，對本身結構、材料、工作環(huán)境的穩(wěn)定性要求比較嚴格，驅動系統(tǒng)設計不完善，針對超聲電機存在的這些問題，本文設計了一種新型正交型平面超聲電機。本文主要任務：
　?。?）超聲電機結構的設計。首先進行超聲電機材料的選擇與分析，其中壓電陶瓷作為系統(tǒng)的能量

2、轉換元件，對工作環(huán)境要求比較苛刻，而且很多因素都會對其工作性能產生影響，通過對這些影響因素的分析，提出解決方案，設計了檢測壓電陶瓷，便于超聲電機工作情況的反饋。
　?。?）利用有限元，在超聲電機結構模型的基礎上，對超聲電機換能器進行模態(tài)簡并。通過對靈敏度分析，確定其縱彎頻率21774Hz。并利用有限元瞬態(tài)分析法，以超聲電機X軸方向的運動為例，對超聲電機進行運動分析，建立超聲電機運動方程，推導出超聲電機驅動足上質點做橢圓運動機理。<