帶電粒子環(huán)境下低真空度測(cè)試技術(shù)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、在化工、制藥等一些特殊真空環(huán)境中，含有大量帶電粒子及飽和水蒸氣，常見(jiàn)的真空度測(cè)量方法對(duì)氣體環(huán)境中的帶電粒子十分敏感，會(huì)嚴(yán)重影響測(cè)量準(zhǔn)確度，進(jìn)而極大影響生產(chǎn)效率及產(chǎn)品質(zhì)量，因此該問(wèn)題是業(yè)界目前亟待解決的。針對(duì)這種特殊情況，本文分析了帶電粒子及其他因素對(duì)傳統(tǒng)測(cè)量設(shè)備的影響，選擇了電容薄膜真空計(jì)作為改進(jìn)對(duì)象，設(shè)計(jì)并提出使用全陶瓷規(guī)管進(jìn)行電荷屏蔽的方案。通過(guò)受力分析，探討提高傳感器精度的方法;為降低溫度對(duì)電容傳感器的影響，在有限元分析的幫助下設(shè)

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