1、二氧化氮(NO2)是一種存在于大氣中的典型污染物，不僅可導致光化學煙霧與酸雨危害環(huán)境，而且更是導致PM2.5大氣污染物形成的元兇之一，對人類健康產生顯著威脅。因此研發(fā)可以快速、可靠地檢測NO2氣體的氣敏傳感器，對于人類健康與環(huán)境保護具有至關重要的現(xiàn)實意義。n型寬禁帶半導體三氧化鎢(WO3)是一種高性能的氣體敏感材料，在檢測NO2氣體方面已表現(xiàn)出巨大的應用潛力。本論文研究了一種新型的三氧化鎢三維納米多級結構的原位誘導制備工藝，并對器件的N

2、O2氣體敏感性能進行了評價與分析。
　　采用水熱合成法，通過傳感器基底表面誘導層誘導生長作用，實現(xiàn)了基于三氧化鎢納米結構的氣敏傳感器的原位一步制備。通過調控誘導層的誘導生長作用，可以獲得一維納米線結構或三維納米多級結構?；诩{米片狀誘導層，水熱過程中以納米片作為生長中心，通過垂直納米線陣列在其兩側的同步雙向組裝，獲得了一種新穎的三維納米多級結構；而基于球狀的誘導顆粒層，水熱反應后獲得了非規(guī)則排列的納米線結構。
　　分別研究了

3、基于兩種不同形貌的三氧化鎢納米結構的氣敏傳感器的氣敏性能，通過對從室溫(20℃)到250℃范圍內傳感器在0.015-5ppm的NO2氣體濃度下的電阻變化率的測試，尤其對其響應速率的分析發(fā)現(xiàn)，兩種傳感器均表現(xiàn)出良好的NO2氣敏性能?；谌趸u納米多級結構的氣敏傳感器在室溫下表現(xiàn)為p型半導體的工作特性，隨工作溫度的升高，發(fā)生從p型到n型的特性轉換。室溫下，該多級結構氣體傳感器對NO2表現(xiàn)出高的靈敏度，好的選擇性，和超快的響應特性，該突出的