1、關節(jié)類坐標測量機是一種具有測量范圍大、使用靈活便攜等優(yōu)點的坐標測量儀器。關節(jié)類坐標測量機由連桿自重影響了其測量精度。本文以平行雙關節(jié)坐標測量機為研究對象，研究由自重引起的力變形誤差，并利用激光二極管和PSD位置敏感傳感器搭建連桿微變形測試系統(tǒng)，主要研究工作有:
　　(1)運用改進D-H建模理論建立平行雙關節(jié)坐標測量機的運動學測量模型，分析了其存在的誤差源，分別建立系統(tǒng)誤差模型和隨機誤差模型。
　　(2)平行雙關節(jié)坐標測量機的

2、測量臂機械結(jié)構為懸臂式。分別對Z軸立柱、滑座、連接臂1、連接臂2進行靜力學分析，建立由自重引起偏差的誤差模型。分別利用Matlab和ANSYS軟件對力變形誤差進行仿真。
　　(3)搭建了基于激光二極管和PSD位置敏感傳感器的連桿微變形測試裝置。設計了PSD傳感器的后續(xù)信號處理電路，編寫了基于Labview的數(shù)據(jù)處理軟件。
　　(4)運用Kohzu精密位移臺和BP算法對PSD位置傳感器的非線性進行修正。分別對測試裝置的穩(wěn)定性，