濺射法制備氧化釩薄膜的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、VO2是一種倍受關(guān)注的智能溫控材料,隨著溫度的變化,在68℃時(shí),其電學(xué)、光學(xué)性質(zhì)隨著晶態(tài)結(jié)構(gòu)發(fā)生從低溫半導(dǎo)體相—高溫金屬相的轉(zhuǎn)變而發(fā)生突變,而且此相變過(guò)程可逆。VO2的光波透射和反射特性隨外界溫度改變進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié),所以使得它成為智能節(jié)能窗的首選材料。
　　研究表明,VO2的相變溫度可以通過(guò)雜質(zhì)摻雜進(jìn)行調(diào)整。本文采用兩步工藝,以普通玻璃為基底材料,先用射頻磁控濺射工藝制備出高純度的釩薄膜以及鎢摻雜的釩薄膜,再在箱式爐空氣氣氛中退火氧

2、化熱處理,得到 VO2含量較高的未摻雜的氧化釩薄膜及鎢摻雜氧化釩薄膜。采用X射線衍射儀(XRD)、X射線光電子能譜儀(XPS)分析確定了薄膜的晶體結(jié)構(gòu)及化合價(jià)態(tài),原子力顯微鏡(AFM)觀察了薄膜表面微觀形貌特征,傅里葉變換紅外光譜儀(FT-IR)、自制薄膜電阻測(cè)量裝備分別研究了薄膜的光學(xué)性能和電學(xué)性能。
　　結(jié)果表明濺射90min,400℃空氣氛圍中熱處理2h制備的未摻雜以及鎢摻雜氧化釩薄膜具有良好相變性能。未摻雜氧化釩薄膜具有5

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