1、為適應(yīng)當(dāng)今能源短缺，倡導(dǎo)高效節(jié)能的現(xiàn)狀，人們對(duì)于綠色、節(jié)能、高效率的新型微波等離子體光源(LEP)的研究日趨活躍。本文課題在第一代微波等離子體光源研究基礎(chǔ)上，利用現(xiàn)在高速發(fā)展的微波固態(tài)電路替代真空器件作為驅(qū)動(dòng)源，解決第一代微波等離子體光源諸多缺點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)可用于工程應(yīng)用的新型微波光源。重點(diǎn)研究新型微波等離子體光源射頻模塊中功率放大器的設(shè)計(jì)，針對(duì)高效率、大功率的實(shí)現(xiàn)做大量研究分析，最終實(shí)現(xiàn)高效率的大功率功放設(shè)計(jì)。文章主要研究?jī)?nèi)容分為四部分。<

2、br>　　文中首先通過(guò)介紹課題研究背景，對(duì)研究對(duì)象設(shè)計(jì)方法與功率器件的發(fā)展現(xiàn)狀做詳細(xì)介紹。其次，對(duì)功率放大器的基本類(lèi)型、技術(shù)指標(biāo)、研究設(shè)計(jì)方法進(jìn)行理論分析研究，文中詳細(xì)闡述功率放大器中負(fù)載牽引方法以及非線(xiàn)性方法，重點(diǎn)對(duì)如何實(shí)現(xiàn)高效率和 F類(lèi)功率放大器進(jìn)行理論分析。再次，分析微波等離子體光源設(shè)計(jì)目標(biāo)，以L(fǎng)DMOS功率管作為設(shè)計(jì)基礎(chǔ)，利用ADS仿真軟件對(duì)Freescale公司大功率功率管MRF6V4300N進(jìn)行仿真研究，并制作、調(diào)試出實(shí)物實(shí)

3、現(xiàn)250W大功率、60％以上高效率的功率放大器。文章對(duì)設(shè)計(jì)過(guò)程做詳細(xì)分析并對(duì)調(diào)試中注意事項(xiàng)以及所遇問(wèn)題的解決方法進(jìn)行闡述。然后，文中針對(duì)如何提高效率做仿真研究，利用MRF6V4300管加入諧波控制設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)200W輸出功率、74%效率的F類(lèi)功率放大器。最后，對(duì)論文過(guò)程中所存在的不足之處進(jìn)行總結(jié)分析，并對(duì)不足之處提出改進(jìn)意見(jiàn)。同時(shí)，針對(duì)微波等離子體光源射頻模塊的設(shè)計(jì)，給未完成的工作指出方向與可借鑒的方案。
　　本文研究方案可行性大，