1、隨著人類社會的發(fā)展，整個世界對能源的需求在不斷增加，但目前能源結構中占絕對主體地位的化石能源面臨枯竭。尤其可怕的是化石能源的大規(guī)模使用導致的環(huán)境污染問題日益惡化，這些問題成為阻礙人類社會繼續(xù)發(fā)展的一道屏障，尋求一種可再生、綠色無污染、取之不盡的新能源是當前迫切需要解決的問題。太陽能作為一種取之不盡用之不竭、分布廣泛、綠色無污染的新能源，其應用充滿了誘人的前景。太陽能應用的有效手段是利用太陽能電池進行光電轉換，所以如何提高太陽能電池的光電

2、轉換效率，成為各國科學家研究的重點。硅片表面織構化能夠有效減少硅片表面光反射，提高光利用率，進而提高太陽能電池的光電轉換效率，從而使表面織構化成為提高多晶硅太陽能電池光電轉換效率的一種有效手段。硅片表面織構化的方法有很多種，隨著激光技術的發(fā)展和成熟，利用激光制備多晶硅太陽能電池表面織構成為研究熱點。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴激光制備多晶硅表面織構過程中激光工藝參數(shù)的研究。本文利用1064nm激光對多晶硅表面進行織構化。利用掃描電

3、鏡觀察激光刻蝕后多晶硅太陽電池片表面的形貌，用光譜儀測量激光刻蝕后多晶硅片表面的光反射率，系統(tǒng)研究激光能量、刻蝕速度和重復頻率對多晶硅表面織構的影響，從而優(yōu)化制備多晶硅表面織構過程中激光工藝參數(shù)。⑵化學方法清除多晶硅片激光織構化過程中所產(chǎn)生缺陷的研究。多晶硅片激光織構化過程中所產(chǎn)生的缺陷包括刻蝕后硅片表面的損傷、留下的融熔層，本文用NaOH溶液清除這些損傷和熔融層，利用掃描電鏡觀察化學腐蝕后多晶硅太陽電池片表面形貌，用光譜儀測量化學腐蝕

4、后多晶硅片表面的光反射率，通過實驗研究了NaOH溶液的濃度、腐蝕溫度和腐蝕時間對清除缺陷的影響，從而優(yōu)化多晶硅片激光織構化后化學方法清除缺陷的工藝參數(shù)。⑶多晶硅片激光織構化過程中激光入射角度對多晶硅片表面織構影響的研究。本文首先應用Tracepro光學仿真軟件對硅片表面織構結構進行光線追跡，對比激光傾斜刻蝕和垂直刻蝕硅片形成的表面織構的光學性能，結果表明表面織構都能降低硅片表面的光反射率，其中激光傾斜刻蝕形成的硅片表面織構減少光反射率的