1、自上世紀(jì)八十年代光子晶體被發(fā)明以來(lái)，僅幾十年的時(shí)間內(nèi)，光子晶體便有了十分廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，從微波通信，到太赫茲器件到光子芯片，從通信器件、太陽(yáng)能電池、到生物化學(xué)傳感到隱身技術(shù)，可以說(shuō)，涵蓋了光通訊、激光器、光子器件等非常廣闊的領(lǐng)域。因此近年來(lái)對(duì)光子晶體的研究可謂如火如荼，其中之一就是光子晶體微腔的研究。光子晶體微腔結(jié)構(gòu)具有多樣性，用光子晶體微腔替代傳統(tǒng)諧振腔用于傳感系統(tǒng)中，可以使靈敏度得到極大的提高，同時(shí)光子晶體微腔結(jié)構(gòu)便于集成，使其在納

2、機(jī)電系統(tǒng)中扮演了重要的角色，為高靈敏度、微型化傳感器的設(shè)計(jì)提供了可能，具有非常重要的應(yīng)用價(jià)值。
　　本文提出了一種將光子晶體微腔應(yīng)用于微力檢測(cè)的新方法，文章的主要研究?jī)?nèi)容包括:
　　(1)通過(guò)比較分析選擇了基于光子晶體諧振腔光的微力傳感方法進(jìn)行研究，發(fā)現(xiàn)品質(zhì)因子的提高能大幅度提高微力分辨力，以此為目標(biāo)，之后對(duì)光子晶體和光子晶體諧振腔的仿真方法進(jìn)行了對(duì)比研究，選擇有限時(shí)域差分方法(FDTD)，以品質(zhì)因子的提高為目的對(duì)微腔進(jìn)行了

3、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，得到了幾種典型的微腔的優(yōu)化結(jié)構(gòu)，使諧振腔的品質(zhì)因子達(dá)到了7000以上。
　　(2)針對(duì)基于懸臂梁結(jié)構(gòu)的微力傳感器存在諧振頻率易受到多方面因素調(diào)制的問(wèn)題，提出了新的傳感探頭，使系統(tǒng)在收到微力的時(shí)候，微腔僅受到一種因素的影響而發(fā)生諧振頻率漂移，以提傳感器高傳感的線性度。之后進(jìn)一步適用FDTD方法，分析了傳感原理，并對(duì)傳感探頭受微力后的波長(zhǎng)漂移做了仿真，得到了其檢測(cè)靈敏度為:0.932pm/nN。
　　(3)最后，針對(duì)