1、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在經(jīng)濟生產(chǎn)中扮演的角色越來越重要，作為半導(dǎo)體芯片的主要生產(chǎn)設(shè)備，光刻機的性能指標(biāo)直接影響到芯片的線寬及產(chǎn)率。近年來雙工件臺的運用使光刻機的產(chǎn)率大幅提高，作為光刻機的核心部分其在研制過程中需要進行大量的仿真。針對以往數(shù)值仿真無法可視化并且不接近實際情況的問題，本文采用半實物仿真的研究方法將控制器引入仿真回路，并且利用虛擬現(xiàn)實技術(shù)開發(fā)了雙工件臺的可視化仿真模型代替雙工件臺實體，以期其能夠在控制參數(shù)調(diào)節(jié)及系統(tǒng)設(shè)計驗證上發(fā)揮重要作用。

2、
　　首先，本文建立了雙工件臺的可視化三維模型。由于原始的實體幾何模型復(fù)雜度高、實時性差，本文利用內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡化法將模型簡化并按照其運動關(guān)系對模型進行了分解，隨后將分解后的模型導(dǎo)入到 OpenInventor中建立節(jié)點并進行了虛擬裝配。基于OpenInventor的消息機制和內(nèi)置API設(shè)計了多種與虛擬模型進行交互的方法，利用基于 OBB包圍盒的碰撞檢測函數(shù)實現(xiàn)了對撞臺等意外情況的判斷。根據(jù)機械安裝關(guān)系對6-DOF微動平臺進行了幾何解

3、耦，最后對雙工件臺的可視化模型程序架構(gòu)進行了實時性優(yōu)化。
　　其次，本文從易用性的角度出發(fā)，為仿真系統(tǒng)參數(shù)設(shè)置設(shè)計了人性化的上位機人機界面。在對上位機軟件進行需求分析后將支撐其運行的網(wǎng)絡(luò)通信、數(shù)據(jù)庫及進程間通信功能進行了實現(xiàn)，在此基礎(chǔ)上對上位機的用戶管理、參數(shù)設(shè)置、記錄存儲及曲線繪制等重要功能進行了實現(xiàn)，軟件整體基于微軟的MFC框架進行設(shè)計，利用了面向?qū)ο蟮木幊谭椒ā?br>　　最后，出于實時性考慮，本文采用運行有VxWorks

4、RTOS的IC6主板卡對控制器進行管理。作為連接上位機和數(shù)字控制器的橋梁，對其網(wǎng)絡(luò)通信模塊進行了優(yōu)化，并對IC6主板卡的VME總線驅(qū)動進行了配置。由于被控對象需要在數(shù)字控制器即C6414 DSP中實現(xiàn)，針對以往設(shè)計控制器需要編寫大量代碼的問題，本文利用RTW生成高度優(yōu)化的代碼并進行了修改，最終成功移植到DSP中。
　　本文設(shè)計的雙工件臺半實物仿真系統(tǒng)以可視化、高實時性及易用性為理念，為此設(shè)計了人機界面、三維可視化模型，并對系統(tǒng)通信