1、近年來光通訊的快速發(fā)展推動了集成光學的發(fā)展，作為集成光學的主要元件，光波導器件在信息的獲取、傳輸和處理上具有十分重要的應用價值。光波導的加工屬于微納加工的范疇，目前，微納制造技術高速發(fā)展，與離子交換、離子注入和氣相淀積等其它成熟的制作工藝相比，飛秒激光加工可實現(xiàn)三維加工，被廣泛應用于光學器件的加工中。目前光波導集成光路的發(fā)展還落后于光纖的發(fā)展，因此加大光波導器件的集成度研究，研發(fā)新的加工方法，優(yōu)化波導加工的工藝參數(shù)，提高其傳輸性能將有利

2、于推動集成光學器件的進一步發(fā)展。
　　論文首先理論分析了激光束腰半徑與瑞利長度及透鏡數(shù)值孔徑的關系，使用300-350μm的狹縫對激光通過透鏡聚焦后的激光光斑進行整形，搭建實驗系統(tǒng)利用CCD實現(xiàn)對激光聚焦光斑與加工深度的精確控制，研究了光波導損耗的類型和產(chǎn)生的機理，并分析了光波導傳輸損耗的幾種測量方法及其優(yōu)缺點，運用MATLAB軟件編寫程序代碼，對聚焦后的光波導散射光圖像進行處理，并計算出波導的傳輸損耗。
　　隨后研究了飛秒