1、MOEMS（Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems）微光機(jī)電系統(tǒng)是一個(gè)具有高效率、高表現(xiàn)以及低成本等特點(diǎn)的，非常具有吸引力的對(duì)于一般的光學(xué)問(wèn)題的解決方案。
　　Hochschule Furtwangen University已經(jīng)開(kāi)發(fā)了基于SOI(Silicon-On-Insulator)硅片技術(shù)的一個(gè)用于激光反射的一個(gè)微鏡系統(tǒng)。對(duì)于這個(gè)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)的微鏡系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，其基本的技術(shù)參數(shù)為，當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓為20

2、0V時(shí)，微鏡鏡面的旋轉(zhuǎn)角度為±1.9mrad，約為±0.12°。
　　本論文的目標(biāo)為，選擇合理的驅(qū)動(dòng)方式使微鏡鏡面能夠有一個(gè)較大的為20°轉(zhuǎn)動(dòng)角度。微鏡系統(tǒng)的常用的主要的驅(qū)動(dòng)方式為:磁力驅(qū)動(dòng)、電熱驅(qū)動(dòng)、靜電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)和磁致伸縮驅(qū)動(dòng)。在研究中，對(duì)于這些驅(qū)動(dòng)的方式的各個(gè)方面，即各個(gè)驅(qū)動(dòng)方式的優(yōu)缺點(diǎn)都進(jìn)行了一個(gè)詳細(xì)的比較。最終，在各個(gè)方案的比較中選擇靜電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)方式以及磁力驅(qū)動(dòng)方式。針對(duì)于這兩個(gè)微鏡的驅(qū)動(dòng)方式，設(shè)計(jì)了一系列的不同的微