1、隨著汽車電子、LED驅(qū)動電路、平板液晶顯示器、熒光燈電子鎮(zhèn)流器、電機驅(qū)動等電路的廣泛應(yīng)用，高壓功率集成電路的應(yīng)用越來越廣，需求量也越來越大。但是，不管是在封裝制造或是運送測試和使用等過程中，高壓功率集成電路不可避免會受到大量ESD事件的影響。ESD已成為制約高壓功率集成電路發(fā)展的重要可靠性問題之一。近年來各國在低壓IC、射頻、微波IC以及在射頻微波功率LDMOS的輸入輸出端ESD保護上發(fā)表了大量研究文章，幾乎所有普通CMOS低壓集成電路

2、和低壓功率集成電路的I/O端口都采用了各式各樣的靜電放電保護電路，但針對高壓功率集成電路特別是高壓輸出端口的靜電放電保護電路國內(nèi)外尚處于起步階段。
　　本論文通過分析研究提出了一種雙向高維持電壓大泄放電流的高壓功率集成電路防靜電保護器件結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)集成了兩只背靠背的高耐壓量雪崩二極管，采用創(chuàng)新性的立體式耐壓層技術(shù)，即復(fù)合型功率器件平面終端結(jié)技術(shù)和優(yōu)化的元胞結(jié)構(gòu)相結(jié)合，使器件的擊穿點從表面移至體內(nèi)比較平坦的平行結(jié)平面內(nèi)；低摻雜N-外

3、延層和單元內(nèi)環(huán)繞主結(jié)的P+場限環(huán)分壓結(jié)構(gòu)，因電場疊加抵消作用使主結(jié)的電場分布均勻不集中，確保器件有高的耐壓量和最小的串聯(lián)電阻，并且器件在ESD脈沖下輸出特性表現(xiàn)為無回掃的高維持電壓特性；同時采用多單元結(jié)構(gòu)提高器件的擎住泄放電流，從而承受住在相同芯片面積下比以往常用的低壓瞬態(tài)抑制二極管（TVS）更高的泄放電流，大幅提高了高壓功率集成電路的高壓輸出端ESD防靜電保護的能力。所研發(fā)的雙向高維持電壓大泄放電流的高壓功率集成電路防靜電保護器件與技