1、射頻板條CO2激光器采用非穩(wěn)-波導(dǎo)混合腔結(jié)構(gòu),具有光束質(zhì)量好、電光轉(zhuǎn)換效率高、結(jié)構(gòu)緊湊、熱穩(wěn)定性能好等特點(diǎn),具有廣泛的應(yīng)用前景。本論文研究了射頻板條CO2激光器電極表面鍍膜和放電控制技術(shù)。主要內(nèi)容包括:
　　(1)進(jìn)行了溶膠-凝膠鍍膜實(shí)驗(yàn)。采用以異丁醇鋁為前驅(qū)物、水為溶劑、硝酸為膠溶劑的實(shí)驗(yàn)方案在銅表面制備氧化鋁膜。物相測試結(jié)果表明,膜層為單一晶相的α-Al2O3,光譜儀測試結(jié)果表明膜層表面反射率較低。
　　(2)開展了化學(xué)

2、氣相沉積鍍膜實(shí)驗(yàn)。以AlCl3、H2、CO2為反應(yīng)物、H2S為催化劑,800°C下在銅表面制備氧化鋁膜。光譜儀測試結(jié)果表明膜層對10.6μm入射光的反射率達(dá)85％,能譜儀和衍射儀測試結(jié)果表明,所制備的氧化鋁膜為α-Al2O3和γ-Al2O3的混合體。
　　(3)進(jìn)行了磁控濺射鍍膜實(shí)驗(yàn)。采用磁控濺射法在電極表面制備鋁膜,之后鋁膜在激光器工作中被放電氧化。所制備的膜層均勻致密,表面反射率基本達(dá)到激光器工作的要求。使用鍍膜后的電極,激光