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![GaAs HBT-TaN HEMT器件的熱生成機制及其熱性能仿真與可靠性分析.pdf_第1頁](https://static.zsdocx.com/FlexPaper/FileRoot/2019-3/14/17/9ddcdaf9-2a67-450f-b723-4cf9f9586824/9ddcdaf9-2a67-450f-b723-4cf9f95868241.gif)
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文檔簡介
1、隨著微電子技術(shù)以及電子封裝技術(shù)的飛速發(fā)展,電子組件的熱流密度越來越高,芯片級已達到300W/CM2,熱應力的惡化對集成電路、電子組件等所造成的影響日益加劇,高溫不僅會造成集成電路的可靠性下降,而且使由各類芯片、元器件所組成的組件級的電路系統(tǒng)穩(wěn)定性下降。據(jù)研究顯示,與熱應力有關(guān)的失效占集成電路失效的50%以上。所以,隨著集成電路工藝尺寸的不斷減小、電子組件的高密度化封裝,他們的熱流密度將會不斷增大,由此而造成的熱可靠性問題也變得越來越嚴重
2、。
電子組件的可靠性預計的基礎(chǔ)是對其所用電子元器件的可靠性預計。對于可靠性模型為串聯(lián)結(jié)構(gòu)的設(shè)備來說,設(shè)備上所有元器件失效率之和即為電子設(shè)備的失效率。如何獲得元器件的失效率隨應力變化的數(shù)據(jù)顯得尤為重要,同時如何獲得更加精確的應力數(shù)據(jù)更加值得研究與探索。
為了研究如何獲取精確的溫度應力即器件的峰值結(jié)溫,本文以微波組件為例,選取其中兩類常用的關(guān)鍵器件InGaP/GaAs HBTs異質(zhì)結(jié)雙極性晶體管(HBT)和AlG
3、aN/GaN高電子遷移率晶體管(HEMTs)為研究對象,討論了器件的熱生成機制及確定了熱生成區(qū)的位置,對器件內(nèi)部熱傳導和熱耗散的形式做了討論,最后建立器件的詳細3D實體模型。分別利用有限元軟件ANSYS WorkBench和器件仿真軟件TCAD Silvaco對已確定的熱生成區(qū)進行熱仿真,以便得到更加精確的器件峰值結(jié)溫。
在得到峰值結(jié)溫之后,再對電子組件內(nèi)的各類電子元器件的失效率進行計算、分析之后將這些失效率相加就得到了整
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