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文檔簡介
1、本文進行了單晶硅工件的超聲振動輔助磨削實驗。使用哈工大的平面磨床和多種砂輪對工件進行了磨削。研究了不同磨削參數(shù)對磨削力、工件表面粗糙度和亞表層損傷的影響。獲得了砂輪速度、進給速度、磨削深度和有無超聲振動的影響。使用Kisler測力儀測量了磨削力的變化。使用Taylor Hodson輪廓儀測量了表面粗糙度,并用掃描電子顯微鏡(SEM)測量了工件亞表層損傷。實驗結果顯示,磨削參數(shù)的增大會使磨削力升高。此外,在磨削系統(tǒng)中施加超聲振動可以使磨削
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