1、本論文主要工作是首先發(fā)展了一套基于XPS譜提取有效能量損失函數(EELF)方法，并從Ag的XPS譜中獲得3p單色能量損失峰，利用擴展朗道方法得到了Ag的有效能量損失函數。有效能量損失函既有表面激發(fā)的貢獻，也有體激發(fā)的貢獻。為進一步了解電子在材料中的輸運過程，對近自由電子類材料如Al，Si的REELS譜中信號電子的非彈性碰撞數分布進行了研究。通過對REELS譜中表面與體的分離，實現了從REELS譜中提取材料的非彈性碰撞數分布，并獲得非彈性

2、碰撞數分布與電子能量的經驗公式。通過對體和表面非彈性碰撞數分布的研究，引入體和表面之間的耦合項，很好的解釋了REELS譜中表面與體激發(fā)對能量損失的貢獻。
　　 第一章介紹了表面分析中幾種常用的電子能譜(XPS，REELS)的分析技術，說明了用反射電子能量損失譜研究表面激發(fā)的方法。
　　 第二章主要介紹了電子在固體內的輸運過程，MonteCarlo方法模擬電子散射的步驟和其中的一些散射理論，包括描述彈性散射的Mott截面和

3、非彈性散射的介電理論。
　　 第三章介紹了從Ag的XPS譜中獲得有效能量損失函數的方法，其中包括了實驗譜的小波濾波，線性背景的去除，迭代獲得Ag3p的單色能量損失峰等。并將提取的有效能量損失函數與REELS譜中提取的結果進行了比較。
　　 第四章描述了從Al、Si的REELS譜中提取非彈性碰撞數分布的方法，非彈性碰撞數分布包括了體和表面，并通過提取的耦合碰撞數分布分析了體和表面的相互耦合的強度。
　　 第五章對論