1、生物電勢(shì)的測(cè)量記錄在醫(yī)學(xué)應(yīng)用以及學(xué)術(shù)研究中發(fā)揮著重要的作用，是不可缺少的一種關(guān)鍵手段，其中腦電圖（EEG）更是在研究大腦功能與疾病方面起著極其重要的作用。傳統(tǒng)測(cè)量EEG方法是采用濕電極，使用方法較為復(fù)雜且受所處環(huán)境的限制較大，而新型的干電極使用起來(lái)更為簡(jiǎn)單且可便攜化，符合現(xiàn)代醫(yī)療保健個(gè)人化的社會(huì)需求。
　　MEMS技術(shù)是近年來(lái)隨著硅微加工技術(shù)發(fā)展起來(lái)的一種微加工技術(shù)，通過(guò)光刻等技術(shù)，可以在微米甚至納米尺度上制備元器件。近幾年來(lái)，在

2、MEMS領(lǐng)域中出現(xiàn)了柔性MEMS和Bio-MEMS技術(shù)。柔性MEMS技術(shù)在柔性基底上加工出微米尺度的器件，這樣制備的器件具有能經(jīng)受沖擊、能夠折疊彎曲等優(yōu)點(diǎn)；而B(niǎo)io-MEMS技術(shù)利用MEMS技術(shù)制造體外分析診斷器件和體內(nèi)植入器件。
　　本文的研究?jī)?nèi)容包括：基于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）工藝以及EEG信號(hào)采集要求設(shè)計(jì)了多種微針干電極，包括立體電極、聚酰亞胺襯底平面電極和全金屬平面電極三種。其中立體電極陣列為10×10，每根微針的直徑分別

3、為50μm、60μm、80μm；聚酰亞胺襯底平面電極分為兩批，第一批微針尺寸為250μm(l)×50μm(w)、300μm(l)×60μm(w)與350μm(l)×80μm(w)，高度均為40μm，第二批為300μm(l)×150μm(w)與500μm(l)×200μm(w)，高度均為60μm；全金屬平面電極分為直針和斜針，直針尺寸與第二批聚酰亞胺平面電極相同，斜針還包括底座，與電極夾角60°，斜針尺寸350μm(l)×150μm(w)

4、，高度為60μm，底座邊長(zhǎng)為500μm。第二，設(shè)計(jì)了微電極陣列的MEMS加工工藝，利用濺射、刻蝕、光刻、電鍍等工藝實(shí)現(xiàn)了微電極陣列的制備。實(shí)現(xiàn)了不同的工藝流程，并進(jìn)行工藝后分析。在溶液濃度0.9％的生理鹽水中測(cè)試了平面電極，在0.1 Hz到1000 Hz之間的阻抗總體情況都達(dá)到了100 k?～100?。第三，進(jìn)行了人體實(shí)驗(yàn)，將平面電極與傳統(tǒng)濕電極的效果進(jìn)行了比較，也進(jìn)行了不同平面電極之間的比較。證實(shí)每種電極都能采集到腦電信號(hào)，其中第二批