1、氫氣傳感器早已廣泛應用于家庭生活、醫(yī)療衛(wèi)生、能源及環(huán)境檢測等眾多領域。而SnO2作為一種應用最為廣泛的氣敏材料，一直是作為研究氫氣傳感器的熱點，SnO2材料是一種寬禁帶半導體材料，它的化學、物理穩(wěn)定性比較好，并且耐腐蝕性強，對于很多還原性氣體的靈敏特性非常好，具有可逆性、響應及恢復時間短、可靠性高和對于低濃度氣體的靈敏度高等優(yōu)點。但是純SnO2材料對于多種還原性氣體敏感，所以選擇性較差。本課題是在學習、研究國內外眾多SnO2氫氣傳感器研

2、究成果的基礎上完成的。首先創(chuàng)新的采用MEMS技術制作硅杯，并以PN結作為傳感器的結構，調制摻雜的納米SnO2薄膜作為敏感材料，叉指鉑電極作為加熱源，其中納米SnO2薄膜采用溶膠凝膠方法制備，以上均可減少納米SnO2薄膜電阻，增加傳感器的靈敏度，并對薄膜進行了表征分析，通過測試系統(tǒng)對傳感器的摻雜種類、退火溫度、工作溫度進行了分析，給出了靈敏度、響應和恢復時間，最后設計傳感器外圍電路，以恒流源作為電源，采用AD623為傳感器信號進行差分放大