1、隨著超精密加工設備精度的不斷提高,對加工環(huán)境的要求也越發(fā)苛刻,對振動的要求便是其中非常重要的一項。相比于傳統(tǒng)的被動隔振方式,主動隔振方式能夠獲得更寬的隔振頻帶,且能夠克服被動隔振無法同時對地面振動和負載振動進行良好隔離的劣勢。而傳感單元是主動減振實現(xiàn)其功能的重要組成部分,對其進行深入的研究有重要的理論和實用意義。
　　本文從主動減振系統(tǒng)的工作原理出發(fā),提出了對傳感單元的功能要求,在此基礎上設計并分析了傳感單元的總體實現(xiàn)方案,對其中

2、將要采用的非接觸位移傳感器、絕對速度傳感器進行了選型比較,確定了所選傳感器的型號及性能指標,完成了傳感單元總體方案的設計。
　　建立了速度傳感器的動態(tài)模型,從機械結構及外部噪聲等方面分析了其低頻檢測的限制因素。闡述了對速度傳感器進行軟件低頻補償?shù)脑?并應用不同的方法設計了補償器,對比了這幾種方法的時域仿真結果,針對其中兩種可行的方法作了詳細介紹,從時域結果及頻域結果比較了兩者的補償效果,為實際應用中選擇合適的方法進行速度傳感器的