1、加速度計(jì)作為一種重要的測(cè)量?jī)x器，在當(dāng)前科學(xué)研究、生產(chǎn)制造等方面有著廣泛的應(yīng)用。迄今為止，人們利用轉(zhuǎn)換原理實(shí)現(xiàn)了各類加速度計(jì)，主要可以分為傳統(tǒng)電學(xué)與光學(xué)加速度計(jì)。本文以光學(xué)加速度計(jì)為研究對(duì)象，采用多模干涉原理，開展相應(yīng)的理論分析與仿真驗(yàn)證工作。
　　首先，分別綜述了四類光學(xué)加速度計(jì)的特點(diǎn)。干涉儀型光學(xué)加速度計(jì)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，布拉格光柵型光學(xué)加速度計(jì)容易受到外界溫度變化影響，諧振腔型光學(xué)加速度計(jì)制作過程復(fù)雜，以上三種光學(xué)加速度計(jì)均為分立元件

2、，不易于與其它元件實(shí)現(xiàn)集成。進(jìn)而提出了多模干涉光學(xué)集成型加速度計(jì)不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于制作，而且還易于集成。
　　其次，闡述了多模干涉原理、光纖傳輸原理和光束傳播法原理。在此基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)出了多模干涉光學(xué)集成型加速度計(jì)模型。將多模干涉?zhèn)鞲性街趹伊罕凵希?dāng)懸梁臂受外界加速度作用時(shí)，傳感元件尺寸就會(huì)發(fā)生變化，根據(jù)彈光效應(yīng)可知，這種變化使得傳輸?shù)墓獠ㄐ盘?hào)發(fā)生波長(zhǎng)漂移，通過理論分析與計(jì)算，獲得外界加速度值。
　　最后，利用MATLA

3、B軟件對(duì)基模和高階模進(jìn)行模場(chǎng)分析。利用MATLAB對(duì)高階模與基模耦合效率進(jìn)行數(shù)值求解，得出信號(hào)在多模光纖中傳輸了將近5cm時(shí)出現(xiàn)相長(zhǎng)干涉，故選定此傳輸距離為多模光纖的長(zhǎng)度。利用ANSYS軟件對(duì)傳感元件應(yīng)變與外界加速度之間的關(guān)系進(jìn)行分析。在多模干涉?zhèn)鞲性艿酵饨缂铀俣扔绊懬闆r下，選取輸入光波信號(hào)波長(zhǎng)為1.55μm，信號(hào)波長(zhǎng)變化率與理論計(jì)算相一致。
　　多模干涉光學(xué)集成加速度計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、容易制作、易集成的特點(diǎn)，在振動(dòng)傳感等領(lǐng)域具