1、繼80年代初掃描隧道顯微鏡(SEM)出現(xiàn)之后,人類又陸續(xù)發(fā)明了一系列測(cè)量分辨率可達(dá)原子量級(jí)的檢測(cè)技術(shù)與儀器,人們對(duì)微觀領(lǐng)域的探索不斷深入。尤其是微納技術(shù)不斷發(fā)展,帶動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)、醫(yī)學(xué)、材料學(xué)、制造業(yè)等相關(guān)領(lǐng)域不斷進(jìn)步。如今人們已經(jīng)不能滿足于單純的觀看到微觀世界,迫切的需要大范圍的測(cè)量到微觀世界以指導(dǎo)各項(xiàng)領(lǐng)域進(jìn)一步發(fā)展。分子測(cè)量機(jī)正是基于上述應(yīng)用背景而提出來(lái)的,分子測(cè)量機(jī)的測(cè)量范圍是50mm×50mm×100um,測(cè)量范圍內(nèi)任意點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的測(cè)

2、量不確定度是1nm,測(cè)量分辨率是0.1nm。
　　本文以分子測(cè)量機(jī)為背景,研究分子測(cè)量機(jī)核心機(jī)構(gòu)中宏微結(jié)合機(jī)構(gòu)的原理,對(duì)宏微結(jié)合機(jī)構(gòu)進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),同時(shí)基于精度要求對(duì)X、Y維宏微結(jié)合機(jī)構(gòu)中的微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),利用有限元軟件對(duì)優(yōu)化后的結(jié)果進(jìn)行分析驗(yàn)證。之后建立基于六軸激光干涉儀系統(tǒng)的測(cè)量模型和誤差模型,以此指導(dǎo)宏微結(jié)合機(jī)構(gòu)的誤差源分析。結(jié)合宏微結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)方案對(duì)各個(gè)誤差源的產(chǎn)生原理進(jìn)行探究,推導(dǎo)不確定度分量的計(jì)算公式,利用現(xiàn)有高精度的