1、硅微機(jī)械加速度計(jì)是MEMS(Micro Mechanical System)傳感器的研究熱點(diǎn)之一，具有體積小、成本低、易于批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。與其它類(lèi)型的MEMS加速度傳感器相比，硅微機(jī)械諧振式加速度傳感器測(cè)量精度高，輸出的是頻率信號(hào)，可以通過(guò)簡(jiǎn)單的數(shù)字電路送入計(jì)算機(jī)，而不需A/D轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，因此,研究諧振式硅微加速度傳感器具有重要意義。本文所設(shè)計(jì)的基于掩膜-無(wú)掩膜腐蝕技術(shù)的新型硅微諧振式加速度傳感器，諧振梁位于襯底上表面，支撐梁的中性面與質(zhì)

2、量塊的重心在同一平面，支撐梁與諧振梁同時(shí)成形。相比之前文獻(xiàn)中報(bào)道的Z軸諧振式加速度傳感器，簡(jiǎn)化了器件結(jié)構(gòu)，降低了封裝難度，并且能有有效消除面內(nèi)加速度引起的交叉軸耦合干擾。
　　為了實(shí)現(xiàn)本課題所設(shè)計(jì)的器件結(jié)構(gòu)，采用掩膜-無(wú)掩膜兩步腐蝕法腐蝕出位于不同平面的諧振梁和支撐梁，其中諧振梁位于襯底上表面，支撐梁的中性面與質(zhì)量塊的重心在同一平面。并且針對(duì)不同腐蝕液及其添加劑做了大量的實(shí)驗(yàn)，分析比較了不同腐蝕液及其添加劑對(duì)硅片的無(wú)掩膜腐蝕腐蝕特

3、性，如硅片表面平整度，腐蝕速率，快腐蝕面與（100）面的腐蝕速率之比r3。經(jīng)過(guò)多組實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)采用碘過(guò)飽和KOH溶液作為無(wú)掩膜腐蝕液的硅片具有良好的表面平整度和最小的r3值，而且其r3的離散性最小，具有良好的穩(wěn)定性和耐久性。
　　簡(jiǎn)要介紹了諧振器的檢測(cè)盒激勵(lì)方式，諧振式硅微加速度傳感器的工作原理，對(duì)其力學(xué)敏感結(jié)構(gòu)進(jìn)行了理論分析并根據(jù)器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)了一套完整的工藝流程。
　　重點(diǎn)研究了二氧化硅/氮化硅薄膜的制備與殘余應(yīng)力測(cè)量以及諧