1、掃描光刻設(shè)備是IC制造業(yè)的核心裝備，其系統(tǒng)的研制與樣機開發(fā)已被列入國家科技重大專項。掃描光刻系統(tǒng)高精度、高速度運動控制指標的實現(xiàn)及步驟繁瑣的掃描光刻流程執(zhí)行需要可靠性高、實時性優(yōu)良的嵌入式實時軟件加以保證。
　　首先，本文對實時控制系統(tǒng)的體系結(jié)構(gòu)和方案進行設(shè)計。本文設(shè)計了以VME總線為控制核心的方案，以滿足掃描光刻系統(tǒng)多執(zhí)行機構(gòu)、多傳感器對大數(shù)據(jù)量傳輸?shù)男枨?；設(shè)計以搭載 VxWorks操作系統(tǒng)的IC-e6-VMEa板卡作為 VME

2、 Master、以FPGA加DSP設(shè)計實現(xiàn)VME Slaver的實時軟件方案，以保證掃描光刻流程的可靠執(zhí)行。
　　之后，本文從VxWorks操作系統(tǒng)的內(nèi)核啟動分析著手，明確了板級支持包的文件組成及其配置方法，針對IC-e6-VMEa板卡的硬件資源完成VxWorks操作系統(tǒng)移植和END網(wǎng)絡設(shè)備驅(qū)動設(shè)計，并通過VxWorks Image下載實驗驗證了移植開發(fā)和驅(qū)動設(shè)計的正確性。
　　其次，本文依據(jù)系統(tǒng)需求，確定了以D32數(shù)據(jù)傳輸

3、方案實現(xiàn)VME總線的通信協(xié)議的方案，并針對VME D32傳輸協(xié)議設(shè)計實現(xiàn)了VME Slaver的接口邏輯、完成IC-e6-VMEa板卡的VME配置。然后，針對系統(tǒng)對實時軟件的可靠性、實時性需求，合理的劃分任務以減小任務間的“耦合”，設(shè)計高效率任務調(diào)度方案以提高 CPU資源的利用率，制定合適的任務間通信方案以實現(xiàn)任務的實時并發(fā)執(zhí)行，系統(tǒng)的提高了實時軟件的可靠性和實時性。
　　最后，本文針對實時調(diào)試需求，對電機通道進行VME地址分配、