1、本論文主要研究針對?；房扇夹詺怏w檢測設計的微結構氣體傳感器。目前生產的催化燃燒式氣體傳感器采用傳統手工繞線、涂覆工藝,生產的器件存在一致性差、匹配性不好的缺點。本論文通過MEMS技術和平面金屬薄膜技術完成催化燃燒式氣體傳感器制作,主要研究計算機有限元結構設計、氣體敏感材料合成、摻雜修飾改性技術、微加工工藝、測試系統的研究及傳感器性能測試等內容。
　　 本論文首先從傳感器的關鍵部件——微熱板結構設計進行研究,對傳感器進行材料優(yōu)化

2、選擇,確定微熱板材料厚度及電極圖形結構尺寸,實現降低器件功耗的目的。其次,利用有限元熱電耦合分析微結構氣體傳感器及帶有引線的情況,并對微熱板的加熱電壓與熱場分布進行仿真。
　　 搭建傳感器測試系統,室溫工作狀態(tài)下,系統研究微結構氣體傳感器的性能及數據處理。試驗結果表明,煤油氣體傳感器的最佳測試范圍為0～2000ppm,傳感器的遲滯為0.93％F·S,重復性為2.06％F·S,線性度為4.08％F·S,準確度為4.66％F·S。<