1、本文采用電弧離子鍍技術(shù)在M2高速鋼和316L不銹鋼基體上制備CrNx薄膜。用X射線衍射儀（XRD）、掃描電鏡（SEM）、顯微硬度計(jì)和摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)等方法對(duì)制備的試樣進(jìn)行分析，研究考察真空室氣壓及氬氣/氮?dú)獗壤龑?duì)CrNx薄膜組織結(jié)構(gòu)、化學(xué)成分、顯微硬度及耐磨性能的影響。結(jié)果表明，在M2高速鋼上沉積CrNx薄膜,氮?dú)鈿鈮旱拇笮?duì)薄膜的表面形貌有重大影響：隨著氮?dú)鈿鈮旱纳?，薄膜表面的大顆粒數(shù)量減少，尺寸減小，薄膜表面更加平整；隨著氮?dú)鈿鈮旱?/p>

2、升高，薄膜的相結(jié)構(gòu)由Cr+Cr2N混合相轉(zhuǎn)變?yōu)镃r2N+CrN混合相，高氮?dú)鈮合拢ù笥?.5Pa），薄膜的擇優(yōu)取向?yàn)镃r2N（300），實(shí)驗(yàn)中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)CrN單相結(jié)構(gòu)。在M2高速鋼上沉積CrNx薄膜,隨著氮?dú)鈿鈮旱纳?，薄膜的顯微硬度大大提高，氮?dú)鈿鈮簽?.0Pa時(shí)，達(dá)到實(shí)驗(yàn)所測(cè)的最大值2237 kg/mm2；隨著氮?dú)鈿鈮旱纳?，薄膜的摩擦系?shù)明顯減少，氮?dú)鈿鈮簽?.0Pa時(shí)，薄膜的摩擦系數(shù)最小。在316L不銹鋼上沉積CrNx薄膜,氮?dú)鈿?/p>

3、壓的大小對(duì)薄膜的表面形貌有重大影響：隨著氮?dú)鈿鈮旱纳?，薄膜表面大顆粒數(shù)量減少，尺寸減小，薄膜表面更加平整；隨著氮?dú)鈿鈮旱纳?，薄膜的相結(jié)構(gòu)由Cr+Cr2N混合相轉(zhuǎn)變?yōu)镃r2N+CrN混合相，高氮?dú)鈮合拢ù笥?.5Pa），薄膜的擇優(yōu)取向?yàn)镃r2N（300），實(shí)驗(yàn)中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)CrN單相薄膜。在M2高速鋼上沉積CrNx薄膜,氬氣/氮?dú)獗壤笮?duì)薄膜的表面形貌有重大影響：隨著氬氣/氮?dú)獗壤纳?，薄膜表面大顆粒數(shù)量增多，尺寸變大，薄膜表面變粗糙

4、；氬氣/氮?dú)獗壤笮∮绊懕∧さ南喑煞郑簩?shí)驗(yàn)過(guò)程觀察膜層中存在Cr、CrN和Cr2N三種相，氮?dú)?氬氣比例為0到40％時(shí)，膜層由Cr2N+CrN混合相轉(zhuǎn)變?yōu)镃r2N+Cr混合相，此時(shí)薄膜的擇優(yōu)取向?yàn)镃r2N（300），實(shí)驗(yàn)中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)CrN單相薄膜。在M2高速鋼上沉積CrNx薄膜,氬氣/氮?dú)獗壤笮∮绊懕∧さ娘@微硬度：隨著氬氣/氮?dú)獗壤纳?，薄膜的顯微硬度先降低后增加再降低，當(dāng)氬氣與氮?dú)獗壤秊?5%，達(dá)到極小值1776.1kg/mm2，氬

5、氣與氮?dú)獗壤秊?0%，獲得實(shí)驗(yàn)所測(cè)的最大值2263kg/mm2。在316L不銹鋼上沉積CrNx薄膜,氬氣/氮?dú)獗壤笮?duì)薄膜的表面形貌都有重大影響：隨著氬氣/氮?dú)獗壤纳?，薄膜表面大顆粒數(shù)量增多，尺寸變大，薄膜表面粗糙；氬氣/氮?dú)獗壤笮∮绊懕∧さ南喑煞郑簩?shí)驗(yàn)過(guò)程觀察膜層中存在Cr、CrN和Cr2N三種相。氮?dú)?氬氣比例為0到40%時(shí)，膜層由 Cr2N+CrN混合相轉(zhuǎn)變?yōu)镃r2N+Cr混合相，此時(shí)薄膜的擇優(yōu)取向?yàn)镃r2N（300）。同