1、由于碳化硅晶體的優(yōu)點(diǎn),其己成為第三代半導(dǎo)體材料,制成的器件和電路具有在國防安全、航空航天、汽車、石油鉆探等工業(yè)技術(shù)的特殊環(huán)境下應(yīng)用的前景。碳化硅晶體雖然具備諸多優(yōu)點(diǎn),但因硬度高,加工十分困難。在生長出高質(zhì)量大直徑的碳化硅晶體后,晶片加工對(duì)晶片的質(zhì)量起決定作用,其中把體塊晶體切割成高質(zhì)量晶片非常重要,否則將給后序的磨拋工作帶來極大困難。本文提出了用環(huán)形電鍍金剛石線鋸切割碳化硅這一新的加工技術(shù),該技術(shù)具有鋸切效率高、加工質(zhì)量好、對(duì)環(huán)境污染小

2、等優(yōu)點(diǎn)。
　　 論文通過對(duì)這一加工技術(shù)進(jìn)行深入系統(tǒng)的試驗(yàn)研究和理論分析,揭示碳化硅晶體線鋸加工的材料去除機(jī)理,加工質(zhì)量與工藝參數(shù)間的關(guān)系,提出了提高加工質(zhì)量的措施,優(yōu)化了工藝參數(shù)。論文所作的主要工作及成果如下:
　　 闡述了環(huán)形電鍍金剛石線鋸加工機(jī)床的設(shè)計(jì)要求和工作原理。該機(jī)床直接用電主軸驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪帶動(dòng)鋸絲運(yùn)動(dòng),鋸絲的速度由變頻調(diào)速器控制；為保護(hù)鋸絲,工作臺(tái)由砝碼重力牽引實(shí)現(xiàn)恒力進(jìn)給。整個(gè)機(jī)床結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于速度控制,工作

3、可靠。
　　 根據(jù)鋸絲的振動(dòng)、受力和鋸絲的強(qiáng)度分析,確定了本試驗(yàn)的鋸絲速度、恒進(jìn)給力的最佳范圍。
　　 通過環(huán)形電鍍金剛石線鋸加工碳化硅的試驗(yàn),研究了鋸絲速度、恒進(jìn)給力對(duì)材料去除率、鋸切力、鋸切表面粗糙度的影響,分析了鋸絲的磨損。為了提高材料去除率和加工質(zhì)量,用正交試驗(yàn)法對(duì)加工工藝參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。
　　 建立了線鋸加工單顆磨粒的鋸切力計(jì)算模型,根據(jù)模型和試驗(yàn),對(duì)碳化硅線鋸加工的材料去除機(jī)理進(jìn)行了深入研究。并由此得