1、精密定位平臺(tái)作為精密制造與測(cè)量、微納米操縱技術(shù)、半導(dǎo)體封裝等領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)之一，有著極其重要的應(yīng)用價(jià)值和理論研究?jī)r(jià)值。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展與進(jìn)步，各領(lǐng)域?qū)芏ㄎ黄脚_(tái)提出了更高的要求，其中大行程高精度精密定位的研發(fā)已經(jīng)迫不及待。本文結(jié)合自然科學(xué)基金設(shè)計(jì)了一種大行程、高精度的精密定位平臺(tái)，對(duì)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)和動(dòng)力學(xué)模型辨識(shí)方法以及控制方法進(jìn)行了研究。論文的主要研究?jī)?nèi)容如下:
　　(1)在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面，設(shè)計(jì)了一種以音圈電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)器的精密定位

2、平臺(tái)。該平臺(tái)具有兩個(gè)自由度，主要分為基于雙平行四桿機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的上平臺(tái)和基于虎克鉸鏈的空間支撐機(jī)構(gòu)兩個(gè)部分，由螺栓連接，它能夠?qū)崿F(xiàn)解耦，具有行程大、Z向剛度高和高承載能力等特點(diǎn)。同時(shí)結(jié)合有限元分析軟件對(duì)平臺(tái)進(jìn)行了分析。
　　(2)在辨識(shí)方面，首先根據(jù)系統(tǒng)存在遲滯特性構(gòu)建了系統(tǒng)的遲滯模型和系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)模型，然后對(duì)遺傳算法的編碼方法、適應(yīng)度函數(shù)以及自適應(yīng)算子進(jìn)行了設(shè)計(jì)，基于實(shí)數(shù)編碼自適應(yīng)遺傳算法對(duì)系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)模型和遲滯模型進(jìn)行了辨識(shí)仿真，最

3、后對(duì)定位系統(tǒng)進(jìn)行了辨識(shí)實(shí)驗(yàn)，辨識(shí)出系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)參數(shù)和遲滯模型參數(shù)。
　　(3)在控制方面，由于遲滯嚴(yán)重影響了精密定位系統(tǒng)的定位精度，因此本文結(jié)合系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)模型和遲滯模型設(shè)計(jì)了前饋滑模控制器，并且在完成控制器設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上采用dSPACE實(shí)時(shí)控制卡進(jìn)行相關(guān)的控制實(shí)驗(yàn)，采用前饋PID控制方法與前饋滑?？刂品椒ǚ謩e進(jìn)行階躍響應(yīng)實(shí)驗(yàn)與軌跡跟蹤實(shí)驗(yàn)的對(duì)比，實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明本文設(shè)計(jì)的前饋滑模控制器比前饋PID控制方法在響應(yīng)時(shí)間和定位精度方面效果更好