激光微熔覆導(dǎo)電膜與基板的粘附性及可焊性的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著電子行業(yè)的飛速發(fā)展,對于工業(yè)用導(dǎo)電膜層來說,除了經(jīng)濟(jì)性、高穩(wěn)定性、導(dǎo)電率大外,還要求附著牢靠和可焊性好。本文利用激光微熔覆技術(shù)在薄膜基板上制備厚膜金層,研究激光加工工藝參數(shù)和基板材料性能對激光微熔覆金層與基板的粘附性及可焊性的影響規(guī)律,旨在為激光微熔覆技術(shù)的應(yīng)用提供理論參考依據(jù)。
   實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,波長為532nm的激光比波長為1064nm的激光更容易在基板上制備導(dǎo)電金膜。不同基板材料上存在不同的燒結(jié)臨界功率密度值FⅠ和過

2、燒臨界功率密度值FⅡ。在FⅠ~ FⅡ范圍內(nèi),提高激光功率密度可以提高金膜在基板上的粘附強(qiáng)度。
   測試標(biāo)準(zhǔn)中粘附等級最高為5B,硅基板上預(yù)置厚度為6~8μm的金膜在波長為1064nm,功率密度為1.29×106W/cm2~2.00×106W/cm2,掃描速度為1mm/s的激光作用下,金膜粘附強(qiáng)度等級可達(dá)4B~5B。導(dǎo)電金膜經(jīng)過溫度范圍為500℃~600℃后續(xù)處理后,粘附性和可焊性都大幅度提高。
   通過SEM、熱分析

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