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![碳納米管氣敏傳感器微電極的制備與檢測.pdf_第1頁](https://static.zsdocx.com/FlexPaper/FileRoot/2019-3/14/17/d036a935-b0b0-4275-ae8c-1b2f5dcbee88/d036a935-b0b0-4275-ae8c-1b2f5dcbee881.gif)
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文檔簡介
1、由于工業(yè)生產(chǎn)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域?qū)怏w傳感器的要求越來越高,因此,對氣體傳感器的研究也愈顯重要。碳納米管憑借其獨特的物理、化學(xué)性質(zhì)被應(yīng)用到氣敏傳感器中,為提升氣敏傳感器的性能開辟了一條新的途徑。
首先利用仿真軟件對叉指微電極進行了電場強度的仿真以獲得合理的結(jié)構(gòu)參數(shù);再通過光刻技術(shù)在導(dǎo)電玻璃表面制備了最小指間距約為4μm的叉指微電極;用循環(huán)伏安法表征了其電化學(xué)特性,并用多壁碳納米管為敏感材料制成敏感元件;分別在有光和無光條件下檢測了
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