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1、電容角位移傳感器是一種將機械角度的變化轉(zhuǎn)換為電容量變化并給出相應(yīng)電信號輸出的測量裝置,它具有非接觸、高可靠性、靈敏度高、精度高和低功耗、結(jié)構(gòu)簡單、適應(yīng)惡劣環(huán)境如震動、超高溫等優(yōu)點,這使得它成為最具有發(fā)展前途的傳感器之一.但電容角位移傳感器也存在一些缺點和問題,如由于電場邊緣效應(yīng)而引入輸出特性的非線性以及寄生電容和分布電容對靈敏度和測量精度的影響等,需要采取一定的補償和校正措施.基于電容式角位移傳感器的智能金屬管浮子流量計需要工作在較寬的
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