1、太陽(yáng)能作為一種新型清潔能源，是未來(lái)社會(huì)的主要能源之一。太陽(yáng)能的熱利用更是新能源開(kāi)發(fā)領(lǐng)域最重要和商業(yè)化程度最高、應(yīng)用最普遍的技術(shù)。TiNxOy藍(lán)膜涂層由于在可見(jiàn)光范圍內(nèi)對(duì)太陽(yáng)光有強(qiáng)烈的吸收作用，而在紅外光譜范圍內(nèi)對(duì)光的吸收率卻很低，已經(jīng)成為目前國(guó)內(nèi)平板型集熱器采用的一種主要的吸熱涂層。但是隨著太陽(yáng)能與建筑一體化的發(fā)展，對(duì)平板集熱器用吸熱涂層的要求已經(jīng)不僅僅局限在擁有良好的吸熱性能，而且由于現(xiàn)在的光熱轉(zhuǎn)換涂層越來(lái)越多地跟墻體或屋面直接結(jié)合在

2、一起，并直接與外界環(huán)境相接觸，這樣對(duì)太陽(yáng)能吸熱涂層的外觀顏色和耐腐蝕性能就提出了更高的要求。因此研究并改善TiNxOy吸熱薄膜的制備工藝，提高薄膜的吸熱效率和耐腐蝕性具有十分重要實(shí)際應(yīng)用意義。
　　本論文主要采用直流反應(yīng)磁控濺射的方法制備出了單層TiNxOy薄膜、TiNxOy/TiN復(fù)合薄膜以及TiNxOy/TiSiN復(fù)合薄膜。用精密色差儀、掃描電鏡研究了所制備的吸熱薄膜的顏色和表面形貌，并使用CHI-650A電化學(xué)工作站測(cè)量系統(tǒng)

3、，對(duì)所制備的一系列單層及復(fù)合吸熱薄膜進(jìn)行了電化學(xué)性能的測(cè)定，以評(píng)定薄膜基體系的耐蝕性能;采用分光光度計(jì)對(duì)所制備的吸熱薄膜的選擇性吸收性能進(jìn)行研究。主要研究結(jié)果如下:
　　(1)對(duì)于單層TiNxOy薄膜，通過(guò)控制濺射時(shí)間和濺射時(shí)的氧氣分壓可以得到外觀顏色不同的TiNxOy薄膜。且在一定氧氣分壓范圍內(nèi)，隨濺射時(shí)間的增加，單層TiNxOy薄膜的顏色值在Lab色彩空間ab面的投影圖中總體上呈現(xiàn)出一個(gè)“V”型的分布趨勢(shì)。
　　(2)通

4、過(guò)控制濺射時(shí)的氧氣分壓，制備出了顏色值接近于藍(lán)色的TiNxOy/TiN復(fù)合薄膜以及TiNxOy/TiSiN復(fù)合薄膜。尤其是當(dāng)氧氣分壓為0.15Pa時(shí)，在鋁基片上制備的TiNxOy/TiN復(fù)合涂層的Lab顏色值分別為34.68、-6.06、-29.49與廠商提供的產(chǎn)品的顏色值35.53、-6.85、-22.50十分接近，且比廠家的產(chǎn)品更偏藍(lán)一點(diǎn)。
　　(3)當(dāng)濺射時(shí)間為5min時(shí)，不管是單層TiNxOy薄膜，還是TiNxOy/TiN

5、或者TiNxOy/TiN復(fù)合薄膜，它們?cè)诓煌闹苽錀l件下都呈現(xiàn)出一種均勻分布的大大小小的凹坑狀表面形貌。而且這種表面形貌主要與基底的前處理產(chǎn)生的微小腐蝕坑有關(guān)。而對(duì)于單層TiNxOy薄膜來(lái)說(shuō)，隨著濺射時(shí)間由5min增長(zhǎng)到15min，其表面的凹坑先是逐漸被填平，而后又在變平的表面又出現(xiàn)了新的更加小的凹坑狀形貌，這一過(guò)程中也同時(shí)伴隨著顆粒的不斷長(zhǎng)大。
　　(4)單層TiNxOy薄膜的耐腐蝕性隨著氧氣分壓的增加呈“V”型的變化趨勢(shì)，隨濺

6、射時(shí)間的增加明顯提高;TiNxOy/TiN復(fù)合薄膜的耐腐蝕性是隨著氧氣分壓的增高而不斷降低的，在氧氣分壓為0.11Pa時(shí)制得的TiNxOy/TiN復(fù)合薄膜的耐蝕性最好;TiNxOy/TiSiN復(fù)合薄膜的耐蝕性是隨著氧氣分壓的增高，先提高后降低，且在氧氣分壓為0.15Pa時(shí)的耐蝕性最優(yōu)。
　　(5)在氧氣分壓為0.11Pa時(shí)，TiNxOy/TiN復(fù)合薄膜的吸收率α為0.75，發(fā)射率ε為0.06，α/ε為12.5，說(shuō)明本實(shí)驗(yàn)中所制備的