干式真空泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及其轉(zhuǎn)子平衡分析與仿真.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、干式真空泵廣泛應(yīng)用于航天、半導(dǎo)體、制藥、化工等行業(yè)。隨著我國(guó)工業(yè)化水平的不斷提高,航天、半導(dǎo)體等行業(yè)對(duì)真空泵的需求也逐步提高。但是目前常用的干式真空泵體積大,質(zhì)量重,而且轉(zhuǎn)子的平衡性不理想。鑒于此,本論文對(duì)一種爪式真空泵進(jìn)行了整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),并對(duì)核心部件—轉(zhuǎn)子進(jìn)行了平衡分析。
   首先,論文闡述了真空、真空泵及干式真空泵的概念以及爪式真空泵的組成和工作原理,給出了國(guó)內(nèi)外有關(guān)真空泵研究的一些現(xiàn)狀以及發(fā)展趨勢(shì)。
   其次,

2、提出了整體設(shè)計(jì)方法,完成了真空泵的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。它主要包括泵殼的設(shè)計(jì)、轉(zhuǎn)子型線的設(shè)計(jì)和主動(dòng)軸的設(shè)計(jì)校核。泵殼的設(shè)計(jì)主要是考慮盡量減少重量和保證殼體的壁厚。轉(zhuǎn)子型線是爪型轉(zhuǎn)子主要的工作曲線,本文將它分為六段曲線,分別對(duì)每一段曲線的設(shè)計(jì)做了說(shuō)明。
   第三,進(jìn)行了真空泵轉(zhuǎn)子的平衡分析。轉(zhuǎn)子平衡主要分為靜平衡和動(dòng)平衡兩類。靜平衡主要研究了單個(gè)轉(zhuǎn)子,由于轉(zhuǎn)子形狀不規(guī)則,在計(jì)算不平衡量時(shí)采用了割補(bǔ)的思想,將轉(zhuǎn)子分割成五部分,每部分的都為

3、規(guī)則形狀,計(jì)算得出各部分產(chǎn)生的不平衡量。動(dòng)平衡是針對(duì)三個(gè)轉(zhuǎn)子的情況,將每個(gè)轉(zhuǎn)子的不平衡量投影到兩個(gè)不同的平衡面上,這兩個(gè)平衡面選在軸承附近。兩個(gè)平衡面上計(jì)算得出總不平衡量,然后在適當(dāng)?shù)奈恢眉由弦粋€(gè)配重。與以往通過(guò)在轉(zhuǎn)子上加配重來(lái)平衡的方法不同,本文通過(guò)計(jì)算不平衡量,在轉(zhuǎn)子本身特定位置去掉特定質(zhì)量,使轉(zhuǎn)子達(dá)到平衡。通過(guò)這種方法的改進(jìn)和優(yōu)化,真空泵轉(zhuǎn)子的加工和裝配時(shí)間大大減小。
   最后利用Pro/Engineer和ADAMS仿真

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