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文檔簡介
1、氧化物透明導(dǎo)電薄膜被廣泛應(yīng)用于太陽能電池、液晶顯示屏、等離子顯示屏、抗靜電涂層以及半導(dǎo)體/絕緣體/半導(dǎo)體(SIS)異質(zhì)結(jié)、現(xiàn)代戰(zhàn)機和巡航導(dǎo)彈的窗口等領(lǐng)域。研究表明,ZnO透明導(dǎo)電薄膜存在表面和晶粒間界氧吸附導(dǎo)致電學(xué)性能下降,SnO2透明導(dǎo)電薄膜存在難以刻蝕等問題,這極大的限制了ZnO、SnO2透明導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用范圍。ZnO@SnO2薄膜兼?zhèn)鋃nO和SnO2的優(yōu)點,這將有利于ZnO、SnO2透明導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用領(lǐng)域。
本論文采
2、用以溶膠-凝膠法為基礎(chǔ)的二步成膠工藝制備ZnO@SnO2包覆結(jié)構(gòu)的粉體和透明導(dǎo)電薄膜。采用X射線衍射(XRD)、透射電子顯微分析(TEM)、X射線光電子能譜(XPS)對粉體樣品進行了結(jié)構(gòu)分析和包覆性能表征,結(jié)果表明,ZnO@SnO2是以ZnO為核、SnO2為殼的核殼式包覆結(jié)構(gòu),是一種化學(xué)包覆結(jié)構(gòu),ZnO和SnO2之間以化學(xué)鍵Zn-O-Sn結(jié)合;并且當Zn/Sn摩爾比為8/12包覆效果較好。
利用NKD-8000e和四探針測
3、試儀對ZnO@SnO2包覆結(jié)構(gòu)的光學(xué)和電學(xué)性能進行表征,結(jié)果表明,可見光透過率均超過80%,當Sb摻雜濃度4at%,退火溫度為600℃,Zn/Sn摩爾比為9/12時,電阻率最低可達1.1×10-3Ω.cm;討論了Zn/Sn摩爾比、退火溫度、摻雜濃度、薄膜厚度等對可見光透過率和電阻率的影響。
研究了ZnO@SnO2包覆結(jié)構(gòu)的光致發(fā)光特性,發(fā)現(xiàn)SnO2的包覆會使ZnO中的藍光發(fā)射得到增強,原因是SnO2包覆結(jié)構(gòu)增加了Zn空位缺
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