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文檔簡介
1、工業(yè)水平的發(fā)展給環(huán)境帶來更多有毒有害氣體。檢測和預(yù)報這些氣體的濃度對安全生產(chǎn)十分重要,一直是氣體傳感領(lǐng)域的研究熱點。
SnO2是最早應(yīng)用于氣體傳感器的金屬氧化物半導體氣敏材料之一。目前,對SnO2氣體傳感器的研究主要集中在通過摻雜,改變氧化物的微觀和宏觀結(jié)構(gòu)等增強傳感效果。稀土氧化物作為添加劑越來越多的應(yīng)用于生產(chǎn)生活中。
本實驗中以ITO玻璃為基體,采用電沉積方法制備La2O3摻雜的SnO2薄膜。通過掃描電鏡(SEM
2、)和X衍射(XRD)對其表面形態(tài)和成分進行表征。分析表明,制備的傳感材料表面顆粒大小均勻,表面積較大,顆粒間空隙較多。從沉積電流大小、沉積時間及氧化時間等方面優(yōu)化了La2O3/SnO2薄膜的制備。得出最佳制備條件如下:SnCl2溶液濃度為7.0g/L,沉積Sn電流1mA,沉積時間3600s;LaCl3溶液濃度為19.0g/L,沉積電流1mA;氧化溫度600℃,氧化時間8h。
將La2O3摻雜的SnO2薄膜組裝成傳感器,采用直流
3、電阻法測定了250-400℃溫度區(qū)間,傳感器對空氣中不同濃度C2H5OH氣體的響應(yīng)。研究表明了該傳感器在300℃時對50-500ppm的C2H5OH氣體響應(yīng)的靈敏值為27.7-50.4,明顯優(yōu)于目前文獻中的響應(yīng)值。而在相同條件下,該傳感器對其它還原性氣體(如H2S、H2、CH3COCH3、NH3等)的響應(yīng)值較低,實現(xiàn)了對C2H5OH氣體的良好選擇性。多次反復實驗證明La2O3/SnO2傳感器對C2H5OH氣體響應(yīng)的重現(xiàn)性良好。此外,本論
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