SEM下納米操作分子動力學仿真及探針閉環(huán)控制方法研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、納米操作是納米技術的重要研究內容,是微/納制造科學與技術研究的重要內容之一,是國際機器人學和納米科技領域受到廣泛關注的熱點研究領域。納米操作系統(tǒng)在微/納米尺度材料研究和器件制造過程中發(fā)揮著日益重要的作用。高效、可靠、穩(wěn)定的納米操作系統(tǒng)在光電、信息存儲、生物醫(yī)療等領域具有廣闊的應用前景。本文針對SEM下的納米線平移操作過程進行研究。為了穩(wěn)定可靠的控制納米線的平移過程,對納米構件間的交互作用力進行了建模分析;為了提高探針的定位精度,引入了B

2、P神經網絡PID控制算法對探針進行閉環(huán)控制。
  在對微納米操作理論分析的基礎上,建立了納米操作過程中的納米構件間的相互作用力模型。對納米線平移操作過程中可能出現(xiàn)的旋轉和彎曲現(xiàn)象進行了理論分析,并提出了采用Z型操作策略平移納米線。
  采用 LAMMPS分子動力學仿真軟件,建立了納米線平移操作過程的分子動力學模型。并將得出的數(shù)據(jù)導入 VMD可視化軟件中,對納米線平移操作過程中的納米線運動軌跡以及其微觀物理現(xiàn)象進行了直觀的觀測

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