壓阻型大加速度計的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文在第一章首先簡要介紹了MEMS技術及其在各領域的應用和硅微加速度傳感器（特別是高g值微硅加速度傳感器）的發(fā)展情況,并提出了該課題設計的主要任務.第二章對壓阻效應的基本原理作了理論上分析和推導,描述了各種加速度傳感器的工作原理和特點,分別介紹了國外和該課題設計的壓阻式加速度傳感器的結構形式.接下來建立了相應結構力學模型,推導了傳感器的結構性能參數并對其進行計算機計算驗證和優(yōu)化.另外,還對電橋電阻進行了設計.第三章根據壓阻式加速度傳感器

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