1、溫濕度是與人類緊密相聯的兩個環(huán)境因素，在社會生產生活中起著重要的作用。在現代工業(yè)應用中，傳統的溫濕度傳感器已經不能滿足某些特定的環(huán)境監(jiān)測需求，集成傳感器系統由此應運而生。集成傳感器系統以大規(guī)模集成電路工藝和現代傳感器為兩大基礎，將敏感元件、信號調理電路、微處理器以及通信接口模塊等集成在一起。
　　本文對MEMS溫濕度傳感器集成系統進行開發(fā)。該集成系統由溫度傳感器、濕度傳感器、信號處理芯片等組成。本文所采用的溫度傳感器為MEMS微加

2、工工藝制備的薄膜結構的鉑電阻傳感器，濕度傳感器為三明治電容式濕度傳感器。溫濕度傳感器與信號處理芯片被封裝到一起，封裝尺寸為16mm*8mm*3mm。信號調理電路能夠將溫度傳感器的電阻量和濕度傳感器的電容量轉換成數字信號，實現高精度的溫濕度測量。信號處理芯片通過軟件控制實現溫濕度測量，將測量得到的數字信號轉換成實際的溫濕度值，并通過IIC協議實現數據輸出。同時，為了減小溫度的影響，集成系統中對濕度傳感器進行溫度補償，提高了濕度測試精度。<