1、該論文簡要分析了超高真空狀態(tài)下限制極限真空度的因素和機(jī)理,重點(diǎn)介紹了真空材料的升溫脫附對真空度的重要影響.設(shè)計(jì)并加工了超高真空材料的烘烤升溫脫附譜的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,并用此設(shè)備測出了真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)材料不銹鋼、無氧銅和鋁合金的烘烤脫附譜和三者的各種殘余氣體成分(主要是H<,2>、H<,2>O、CO、CO<,2>、CxHy)在不同溫度時(shí)的離子流(BALZERS-200型四極質(zhì)譜).分析了三種真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)材料對各種主要?dú)堄喑煞值暮婵拘阅?比較了三者的烘

2、烤脫附譜;最后計(jì)算出了一定工藝過程處理后的三種材料的放氣率.雖然真空室壁材料的氣體脫附是其固有的性質(zhì),無法消除,但我們可以設(shè)法減小脫附放氣量.大量實(shí)驗(yàn)證明,通過適當(dāng)?shù)臏囟群婵竞?真空室的脫附放氣量可以顯著減少,極限壓強(qiáng)可以提高幾個(gè)數(shù)量級.因此研究超高真空材料的烘烤脫附譜對于獲得超高真空和提高極限真空度有重要的意義.同時(shí)超高真空材料在不同溫度時(shí)的脫附放氣量又可以為真空烘烤提供指導(dǎo).目前,真空材料的升溫脫附譜在真空界沒有公認(rèn)值,因?yàn)楦魅藴y最